Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394989 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K Diffusionsofen ist ein fortschrittlicher Großimplantator für die Halbleiterherstellung. Diese Ausrüstung ist für eine effiziente thermische Verarbeitung von Metallen, Keramiken und anderen Materialien für mikroelektronische und verwandte Anwendungen konzipiert. Es ist mit einer offenen Kammer ausgelegt, die einen einfachen Zugang zu einzelnen Komponenten ermöglicht. TEL ALPHA 303IK besteht aus drei Abschnitten: der Tablettkammer, dem unteren Steuerbereich und dem oberen Prozessbereich. Die Ablagekammer weist eine Vorwärmzone und eine Glühzone zur kontrollierten thermischen Verarbeitung auf. Es ist auch mit abnehmbaren Schalen ausgestattet, die eine Reihe von Substraten aufnehmen können. Diese Schalen sind aus Hochleistungsaluminium gefertigt und haben eine gleichmäßige Wärmeverteilung, so dass Tieftemperatur-Prozessschritte schnell und effizient abgeschlossen werden können. Darüber hinaus verfügen die Schalen über ein integriertes Kühlsystem, mit dem sie beim Wechsel zwischen Bearbeitungsschritten schnell abgekühlt werden können. Der untere Steuerabschnitt ist mit einer fortgeschrittenen Luftrezirkulationseinheit ausgestattet, die die Integrität der Prozessumgebung gewährleistet. Dies wird erreicht bya zweistufige Filtermaschine mit HEPA- und ULPA-Filter, die Verschmutzungen von außen verhindert. Dadurch wird sichergestellt, dass die Prozessumgebung von Fremdpartikeln freigehalten wird. Es ist auch mit einem intelligenten benutzerfreundlichen Überwachungstool ausgestattet, das detaillierte Informationen über die genauen Bedingungen und Parameter für jeden Prozessschritt liefert. Der obere Prozessbereich von TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K besteht aus einem Gaseinlasskrümmer, einem quarzbeheizten Substrathalter und Leistungsreglern. Der Substrathalter weist Öffnungen für Gaseinspritzung und -kühlung auf und ist so ausgelegt, dass er die Heizrate maximiert und eine gleichmäßige Erwärmung erreicht. Die Leistungsregler werden verwendet, um die Temperatur des Heizelements zu steuern, was eine effiziente und gleichmäßige thermische Verarbeitung ermöglicht. Neben dem Hauptkapital stehen eine Reihe von Zubehörteilen zur Verfügung, wie das optionale Suszeptor-Control-Board zur Einstellung von Vorwärm- und Glühtemperaturen, das optische Pyrometer und das Spectrum Imaging-Modell. Diese Vorrichtung dient zur automatisierten optischen Detektion und Analyse der Mikrostrukturen der Substrate nach der Verarbeitung. Insgesamt kann ALPHA 303IK Diffusionsofen eine effiziente thermische Verarbeitung von Metallen, Keramiken und anderen Materialien für mikroelektronische Anwendungen ermöglichen. Es ist mit einer offenen Kammer ausgelegt, die einen einfachen Zugang zu einzelnen Komponenten ermöglicht. Das System wird durch eine fortschrittliche Luftrezirkulationseinheit, die die Integrität der Prozessumgebung gewährleistet, und eine Reihe von Zubehörteilen, die eine höhere Präzision bei der Durchführung verschiedener Bearbeitungsschritte ermöglichen, weiter verbessert.