Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293614948 zu verkaufen

LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express
ID: 293614948
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
CVD System, 12" 2005 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist ein Ätzer/Ascher, der eine fortschrittliche Halbleiterverarbeitung ermöglicht. Es verfügt über eine co-planare Fliesentechnologie mit hohem Durchsatz, die Musterdichten unterstützt, die größer als 20K-Matrixpunkte sind, was einen höheren Durchsatz und einen schnelleren Durchsatz der Geräteabdeckung ermöglicht. Darüber hinaus ist NOVELLUS Vector Express auch in der Lage, Mehrfachmuster-Schichtübertragung auf ungleichmäßige Schichtdicken sowie Trocken- und Nassätzen durchzuführen, was dem Anwender eine größere Kontrolle über seinen Ätzprozess gibt. LAM RESEARCH Vector Express ist mit einer umfassenden Software-Suite ausgestattet, die sowohl Stapelverarbeitung als auch automatische Optimierungstools umfasst. Auf diese Weise können Anwender die Vorteile verbesserter Prozessschrittkombinationen wie Ätzen, konforme Beschichtung, Backgrind und Musterung nutzen und gleichzeitig einheitliche und wiederholbare Ergebnisse liefern. Die Software-Suite bietet auch Funktionen für die thermische und elektrische Überwachung, so dass einheitliche und wiederholbare Ergebnisse über mehrere Waferläufe gewährleistet sind. In Bezug auf technische Spezifikationen bietet Vector Express eine Vielzahl von Ätzraten von 0,1 bis 1 µm/min, mit Wiederholbarkeit von ± 0,4 µm/min für einen einkantigen horizontalen Schlitz bis 10 µm Breite. Es kann auch eine Kammergröße von 920 x 700 mm aufweisen und ist für bis zu 12-Zoll-Wafer ausgelegt und unterstützt eine Vielzahl von Wafermaterialien. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express wurde entwickelt, um den sich entwickelnden Bedürfnissen des Halbleitermarktes gerecht zu werden und zeigt NOVELLUS Engagement für die Bereitstellung hochwertiger Ätz- und Aschemaschinen. Seine Software-Suite und Engineering-Spezifikationen bieten Anwendern ein leistungsfähiges Toolkit, um präzise und zuverlässige Ätzprozesse zu erreichen. NOVELLUS Vector Express ist eine wertvolle Ergänzung zum Halbleiterherstellungsprozess, mit dem Anwender Produkte mit größerer Präzision und schnellerem Durchsatz erstellen können.
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