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LAM RESEARCH / NOVELLUS
Vector Express
CVD System, 12" System configuration: Front UI System controller: MC3E, 02-257935-00 Module control
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LAM RESEARCH / NOVELLUS
Vector Express
CVD System, 12" System configuration: Front UI Signal tower: Broken System controller: MC3E, 02-257
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CVD Systems, 12" Process type: PESIN / PETEOS 2004 vintage.
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Vector Express
CVD System, 12" Trust controller Front UI Front end module: (3) V6M Load ports (3) Barcode readers
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Vector Express
System, 12" Process: TEOS 2010 vintage.
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LAM RESEARCH / NOVELLUS
Vector Express
CVD System, 12" LDR TEOS Primary process USG/SiN Secondary process Direct liquid delivery system (A
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