Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293754400 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express (VX) ist eine Ätz-/Aschermaschine, die für die Herstellung genauer, hochwertiger Schaltungsmuster in einer Vielzahl von Anwendungsprozessen entwickelt wurde. Das VX-System ist mit modernster Technologie ausgestattet, die es ermöglicht, präzise Muster durchzuführen und gleichzeitig einen hohen Volumendurchsatz und hervorragende Gleichmäßigkeitsergebnisse zu erzielen. Der VX nutzt eine fortschrittliche Ablationskontrollsoftware, mit der er sowohl Ätz- als auch Ascheprozesse präzise steuern kann. Dadurch kann der Benutzer das exakte zu ätzende Muster sowie die exakte Ätztiefe und Seitengenauigkeit definieren. Die Einheit wird durch die Funktion Auto-Ausrichten und Auto-Drehen von LAM weiter verbessert, die Muster verschieben und drehen, um eine bessere Ausrichtung und Genauigkeit zu gewährleisten. Die VX ist auch sehr modular, so dass Benutzer die Maschine nach ihren Bedürfnissen konfigurieren können. Das Werkzeug verwendet einen Jet-Step-Prozess, um einheitliche und wiederholbare Muster zu gewährleisten. Diese besteht aus mehreren Schritten, einschließlich einer Vorätzung, wobei das Substrat mit einem ätzfesten Material vorbeschichtet ist. Es folgt ein Hauptätzschritt, bei dem das eigentliche Ätzen der Muster durchgeführt wird. Schließlich wird durch den Abätzschritt sichergestellt, daß überschüssiges Material oder Rückstand entfernt wird. Der VX ist auch mit einem Dual Multi-Faceted Illuminator (DFI) ausgestattet. Diese besteht aus einem reflektierenden multilambertischen Optikpaket, bestehend aus zwei Ebenen von f-theta und telezentrischen Linsen. Dadurch kann das Ätzen multidirektional erfolgen, was eine präzisere Ätzung ermöglicht. Das Asset beinhaltet auch ein eingebautes Vision-Modell, das eine überlegene Registrierung beim Ätzen gewährleistet. Dadurch wird sichergestellt, dass das fertige Produkt von hoher Qualität und Gleichmäßigkeit ist. Darüber hinaus wurde das Gerät entwickelt, um Partikelverschmutzung zu reduzieren und Ausfallzeiten zu minimieren. Es verfügt über ein Nanopartikelsammelsystem, das speziell zur Erfassung von Partikeln während des Ätzens entwickelt wurde und verhindert, dass sie das Substrat verunreinigen. Dazu gehört auch eine Kondensationskammer, die eine kontrollierte Umgebung und eine effiziente Erfassung von Partikeln ermöglicht. Schließlich verfügt die VX-Einheit über fortschrittliche Diagnosesoftware. Auf diese Weise können Benutzer die Ätz- und Ascheparameter für verschiedene Substrate überwachen, sodass sie Anpassungen vornehmen und die Maschine für bessere Ergebnisse optimieren können. Alle diese Funktionen ermöglichen es dem Werkzeug, unübertroffene Präzision, Genauigkeit und Durchsatz zu erzielen, was zu einem hochwertigen Fertigprodukt führt.