Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293652040 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist ein fortschrittlicher Plasmaätzer/Ascher, der in präzisen Mikrofabrikationsverfahren eingesetzt wird. Dieses vielseitige Werkzeug verfügt über eine Hochleistungs-Plasmaquelle, die in der Lage ist, eine Vielzahl von Materialien zu ätzen und zu aschen, einschließlich Metalle, Isolatoren und Halbleiter. NOVELLUS Vector Express verfügt über einen einstellbaren Druck und einen für jeden Substrattyp optimierten Sollwert, was zu überlegenen Ätzergebnissen ohne Beschädigung des Substrats oder des Prozesses führt. Mit seinem Dual-RF-Generator und einer dedizierten Hochspannungsquelle ermöglicht LAM RESEARCH Vector Express tiefe Ätztiefen und Mikron-Präzision für komplexe Strukturen. Vector Express ist ideal für die Produktion mit hohem Durchsatz, mit schnellen Zykluszeiten, minimaler Vakuum- und Reaktionskammer-Konditionierung und geringer chemischer Verwendung. Der hochautomatisierte Betrieb ermöglicht eine einfache Einrichtung und Überwachung von Parametern und ermöglicht schnelle, wiederholbare Ergebnisse. Das System verfügt auch über eine Auto-Tune-Funktion, die die Plasmaquelle für optimale Leistung kalibriert. Mit seinem fortschrittlichen Diagnose- und Bordgasmisch- und Analysesystem sorgt LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express für hervorragende Ätzqualität und minimierte Prozessvariabilität. Neben dem Ätzen ist NOVELLUS Vector Express in der Lage, Auswaschungen, Schichtabzüge und andere Trockenverarbeitungsvorgänge durchzuführen. Seine vielseitige, robuste Gasverteilungsplattform ist für spezifische Prozesschemien optimiert und liefert substratunabhängige wiederholbare Ätzergebnisse. Und mit seinem Hochleistungsduschkopf kann er bis zu 6 "-Wafer ohne Verschlechterung der Prozessleistung ätzen und aschen. LAM RESEARCH Vector Express verfügt auch über eine einzigartige Plasmaätzsicherung, mit der Benutzer die Ätzeinstellungen schnell und einfach in einen vorherigen, optimierten Zustand wiederherstellen können. Vector Express ist ein ideales Werkzeug für präzise Mikrofabrikationsanwendungen und bietet Geschwindigkeit, Genauigkeit und Zuverlässigkeit, die Fertigungsprozesse schnell von der F & E-Stufe zur Serienproduktion verlagert.