Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293793396 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist eine fortschrittliche Ätz- und Aschemaschine, die die Produktion von Submikron-Geräten mit hohem Durchsatz ermöglicht. Es ist optimiert für die Herstellung hochkomplexer Strukturen mit hohem Aspektverhältnis, die bei der Herstellung moderner Halbleiterbauelemente verwendet werden, einschließlich FinFETs, MURA und anderen fortschrittlichen Strukturen. NOVELLUS Vector Express Ätzsystem kombiniert physikalisches Ätzen mit Selektivität und Präzision. Es bietet drei verschiedene Ätzmodi: isotropes Ätzen, Richtungsätzen und Überätzen. Beim isotropen Ätzen wird eine einzelne Ätzmaske verwendet, um eine einheitliche Ätzung von allen Seiten zu erzeugen. Direktionales Ätzen, das für Strukturen mit hohem Seitenverhältnis optimiert ist, verwendet zwei Masken für hohe vertikale Selektivität - ermöglicht das Ätzen von oben, mit seitlichem Ätzen von Seiten nur in den Bereichen, die nicht von der Maske abgedeckt sind. Der Überätzmodus ist für das ultraglatte Oxidätzen optimiert, mit bis zu zwei Millimeter Überätzen für präzise Trimmvorgänge. LAM RESEARCH Vector Express verfügt zudem über eine integrierte In-situ-Überwachungseinheit zur Ätzqualitätssicherung. Diese Maschine ermöglicht eine kontinuierliche Überwachung der Endpunkterkennung und Prozessoptimierung. Es ist mit einer CF4 Ätzquelle und einer heißen Oberflächenquelle ausgestattet, die eine Verarbeitung mit höherem Durchsatz für empfindliche Merkmale ermöglicht und das Risiko einer Beschädigung der darunter liegenden Oxidschicht minimiert. Das Werkzeug verfügt außerdem über eine isolierte, statisch freie Prozesskammer, um höchste Oxidqualität zu gewährleisten. Vector Express Etcher und Asher Asset ist mit einem sehr hohen Maß an Modularität, Flexibilität und Skalierbarkeit konzipiert und ermöglicht zukünftige Upgrades und Erweiterungen. Es umfasst eine umfangreiche Bibliothek mit Rezept- und Rezeptentwicklungstools, die die anspruchsvollsten Anwendungen durch manuelle Anpassung und Optimierung der Prozessparameter ermöglicht. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express eignet sich hervorragend für die Prozessintegration in fortschrittliche Verpackungs-, eWLB- und 3D-stacking Fertigungsprozesse, die eine verbesserte Zuverlässigkeit und höhere Fertigungserträge bieten.