Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9314358 zu verkaufen
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ID: 9314358
Wafergröße: 12"
CVD System, 12"
Trust controller
Front UI
Front end module:
(3) V6M Load ports
(3) Barcode readers
ATR-8 Robot
L/L and R/L Module:
Isolation valve
Chamber assembly
Chamber lid assembly
Coolpad
Actuator
Temperature module
Process module:
Remote Plasma Source (RPS): HF-S Type
AF Tube
(4) V16 Isolation valves
(2) V16 Fiber and amplifiers
High frequency RF match
Low frequency RF match
APEX 5513 High frequency RF generator, 5 kW
SIRF Assembly or cable
(4) Shower heads
(4) Pedestals
(4) Temperature controllers
(4) Carrier rings
(24) MCA Balls or pins
Index plate
(3) Lift pins
Gas box
Missing parts:
System controller
Module controller
KASHIYAMA L/L Pump
L/L and R/L Arm set with end effector assemblies
Low frequency RF generator, 2.5 kW.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist ein Ätzer/Ascher zur präzisen Ätzsteuerung in Halbleiterherstellungsprozessen. Es bietet überlegene Fähigkeiten und Prozessstabilität mit einer hohen Abscheidungsrate von bis zu 200.000 Wafern pro Stunde und einer Substratabscheidung mit geringer Defektivität. NOVELLUS Vector Express ist ein flexibler Hochgeschwindigkeits-Vollfeldätzer mit fortschrittlicher Prozesssteuerungssoftware. Die erweiterten Softwarefunktionen ermöglichen die Einstellung präziser Ätzbedingungen für jeden Ätzlauf und stellen sicher, dass Ätzvorgänge mit stabilen Prozessbedingungen ausgeführt werden können. LAM RESEARCH Vector Express Ätzer/Ascher ist mit einem automatisierten Wafer Be-/Entladesystem entwickelt, um Handarbeit zu reduzieren und minimale Kontaminationsrisiken zu gewährleisten, zusammen mit einem Gasverteilungsnetz, um eine optimale chemische Spezies/Reagenzstabilität zu bieten. Es ist in der Lage, Strukturen mit hohem Seitenverhältnis sowie hochauflösende Merkmale zu ätzen und zu aschen, wobei eine Vielzahl von Gasen wie Chlor, Fluor, Schwefelhexafluorid und Sauerstoff verwendet werden. Der Ätzer/Ascher entspricht den neuesten Standards der Halbleiterindustrie, wie SEMI P-12, P-17 und P-25. Vector Express Etcher/Asher verwendet eine modulare, benutzerfreundliche Softwareschnittstelle, um alle Ätz-/Ashing-Vorgänge zu verwalten. Die Software bietet eine benutzerfreundliche Umgebung zum Einrichten von Ätzparametern wie Prozessdauer, Temperatur, Leistungspegel und Durchflussrate sowie eine intuitive Benutzeroberfläche zur Überwachung von Ätz-/Aschevorgängen. Die Software unterstützt auch Echtzeit-Durchflussmengenüberwachung, Speicherung der Prozesshistorie und Tools zur Analyse nach dem Prozess. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express Ätzer/Ascher kann für eine Vielzahl von Ätz-/Ascheoperationen wie Flachgraben-Isolation (STI) -Ätzen, Tiefgraben-Isolation (DTI) -Ätzen, selektives Oxidätzen, Waferreinigung und Metallabscheidung verwendet werden. Der Ätzer/Ascher ist mit einem eingebetteten Bildverarbeitungssystem ausgestattet, mit dem der Bediener die Funktionsstrukturen vor dem Ätzen/Aschen visuell überprüfen kann. Zusätzlich ist der Ätzer/Ascher mit einer Vollfeld-Plasmaätztechnologie ausgebildet, die unabhängig von der Merkmalsgröße oder -lage auf dem Wafer eine homogene Ätztiefe über den gesamten Wafer bereitstellt. NOVELLUS Vector Express Ätzer/Ascher ist eine leistungsstarke und flexible Maschine für Halbleiterhersteller. Es bietet überlegene Ätz-/Aschefunktionen, eine ausgezeichnete Prozesssteuerung und ein reduziertes Kontaminationsrisiko, was es zu einer ausgezeichneten Wahl für Ätz-/Ascheoperationen in fortgeschrittenen Halbleiterprozessströmen macht.
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