Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9298589 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist ein Mehrkammer-Ätzer/Ascher von NOVELLUS. Es wird zum Präzisionsätzen oder Aschen von Mustermasken und Strukturen in der Halbleiter- und Elektronikindustrie sowie in Forschungs- und Entwicklungsanwendungen eingesetzt. Es ist mit der Fähigkeit konzipiert, sowohl traditionelle Ätz- als auch neue Ascheoperationen auf großen Einzelsubstraten mit einem Durchmesser von bis zu 200mm durchzuführen. NOVELLUS Vector Express ist ein fortschrittlicher, vollautomatischer Produktionsätzer mit mehreren Prozesskammern, die eine breite Palette von Probengrößen und Konfigurationen aufnehmen können. LAM RESEARCH Vector Express ist mit den branchenführenden Ätz- und Aschequellen ausgestattet, die Geschwindigkeit, Genauigkeit und Wirtschaftlichkeit jedes Prozesses kombinieren. Es verfügt über Tieftemperatur-Ätzfähigkeit bis zu 25 ° C, mit Niederdruckbetrieb und engen Prozesssteuerungsfähigkeiten. Vector Express bietet Temperaturstabilität innerhalb ± 0,1 ° C des Sollwerts, mit Prozessschritten in einer Zehntelsekunde und Flugzeit-Präzision, die eine ausgezeichnete Prozesswiederholbarkeit bieten. Seine intuitive Benutzeroberfläche macht die Programmierung schnell und einfach, sowohl aus der Ferne als auch an der Maschine. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist der erste, der sowohl die Kammerisolierung als auch das schnelle thermische Glühen (RTA) kombiniert und ein einzelnes Ätz- und Aschesystem bereitstellt, das eine Vielzahl von Prozessanforderungen bewältigen kann. Es verfügt über eine erweiterbare, erweiterbare und hochflexible Konfiguration, die eine große Flexibilität für unterschiedliche Ätzprobleme ermöglicht. Bearbeitungskammern können je nach Prozessanforderungen einfach und schnell ausgetauscht werden. Die Maschine verfügt über Mikrowerfer und hochpräzise Scanfunktionen zur vollständigen Automatisierung der Ätz- und Ascheprozesse. NOVELLUS Vector Express ist auch für den zuverlässigen Betrieb in einer Vielzahl von robusten Fertigungsumgebungen konzipiert. Diese Maschine erfüllt auch alle neuesten Sicherheitsvorschriften und Standards, mit modernster Technologie, die einen zuverlässigen, kostengünstigen Betrieb und eine längere Lebensdauer bietet. LAM RESEARCH Vector Express ist eine ideale Wahl für alle, die höchste Präzision und Zuverlässigkeit in ihren Ätz- und Aschevorgängen suchen.