Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293775691 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist eine fortschrittliche Einzelwafer-Ätz-/Ascher-Technologie, die für eine höhere Leistung in einer Vielzahl von Anwendungen entwickelt wurde. Es ist in der Lage, sowohl Ätz- als auch Ascheschritte nacheinander durchzuführen, um qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen. NOVELLUS Vector Express bietet überlegene Wiederholbarkeit und ultraschnelle Zykluszeiten, um effizienten, höheren Durchsatz und Flexibilität für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen zu ermöglichen. Die Maschine ist in der Lage, Hochdurchsatzverarbeitung in Ätzprozessen, die eine gute Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit erfordern, und ist für eine präzise Substrattemperaturregelung ausgelegt. Es verfügt über eine fortschrittliche modulare Architektur, die zwei NOVELLUS Prozesskammern, einen Mikrowellengenerator und einen HF-Generator in einer Einheit integriert. LAM RESEARCH Vector Express bietet eine schnelle und präzise Verarbeitung einer Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen wie MEMS, Verbundhalbleiter, Silizium-Wafer-Verdünnung und dicke Metallverarbeitung. Die Hochdurchsatzausrüstung verarbeitet kleine Merkmalsgröße (0,2um) in hohem Seitenverhältnis (3:1) bei einer Ätzrate von bis zu 80um/min. Vector Express ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien wie Silizium, Galliumarsenid, Titannitrid, organisches Material, Aluminium und Polyimid zu verarbeiten. Darüber hinaus ermöglicht die integrierte Mehrprozesskammerkonfiguration die Bearbeitung von Ätz- und Ascheschritten innerhalb eines Zyklus. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express wird mit vier Prozessrezepten geladen, eines für Ätz- und drei Ascherezepte. NOVELLUS Vector Express ist ein präzises und kostengünstiges Ätz-/Aschesystem, das eine verbesserte Kontrolle über Metall- und organische Abscheidungsprozesse bietet. Es verfügt über mehrere erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen, einschließlich einer präzisen Temperaturdifferenzsteuerung für verbesserte Prozessgenauigkeit, automatische Verriegelung für schnellere Substratbelastung und automatische Anpassung für optimale Gleichmäßigkeit. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine grafische Touchscreen-Benutzeroberfläche für eine einfache Bedienung sowie eine intuitive Vorlagensprache und interaktive grafische Programmierung, die die Einrichtung der Geräte vereinfacht und Ausfallzeiten reduziert. LAM RESEARCH Vector Express ist auch mit einer Prozessüberwachungs- und Steuerungsmaschine ausgestattet, die Prozessdaten verwendet, um mögliche Erträge und Ausfallzeiten zu vermeiden. Vector Express ist eine fortschrittliche und zuverlässige Ätzlösung, die eine verbesserte Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit sowie einen höheren Durchsatz für eine Reihe von Ätz- und Ascheanwendungen bietet. Die integrierte und modulare Architektur ermöglicht eine exzellente Prozesssteuerung und sorgt für einheitliche und wiederholbare Ergebnisse. Das Werkzeug ist zuverlässig und einfach zu bedienen und wird mit einer Reihe von Prozessrezepten vorbeladen, die eine erhöhte Flexibilität für die Ätz- und Aschebearbeitung bieten. Seine intuitive grafische Programmierung und Prozessüberwachung und Steuerung machen es zu einer idealen Wahl für kostengünstige Ätz- und Aschelösungen.