Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293738977 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist eine fortschrittliche Ätz- und Aschentechnologie, die speziell für großvolumige Anwendungen in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Das Gerät kombiniert fortschrittliche Ätz-/Aschetechnologie wie Plasma Assisted Etch/Ash (PAE) mit mehreren Substraten, fortschrittliche Zylinder/Pumpen-Konfigurationen und andere unterstützende Technologien, um den Prozess zu optimieren. Das System bietet durch die Kombination mehrerer Prozesstechnologien zu einer Plattform einen überlegenen Durchsatz und Erträge. Der PAE kann hohe Ätzraten und geringe Rauhigkeit mit minimierten Defekten wie Wafer-Schälen und Kantenverformungen erreichen. Darüber hinaus wird der Ätz- und Ascheprozess durch den Einsatz mehrerer Substrate, wie Floatglas, Quarzschmelze und Corning HDTV, ermöglicht. Durch eine Kombination aus fortschrittlichen Ätz- und Aschetechnologien ist NOVELLUS Vector Express in der Lage, eine strenge Kontrolle über eine Vielzahl von Materialien und Substraten zu gewährleisten. Die LAM RESEARCH Vector Express Plattform ist hochgradig konfigurierbar und kann verwendet werden, um Lösungen für eine Vielzahl von Prozessanforderungen anzupassen. Die Plattform besteht aus zwei Hauptmodulen: Vector Processing Cell und Multi Process Controller. Die Vektorverarbeitungszelle umfasst alle Komponenten für den Ätz-/Ascheprozess, wie die Substrathalter, Vakuumfutter, Plasmaquelle, Ätz- und Aschestationen sowie eine Kühleinheit. Der Multi Process Controller ermöglicht es Benutzern, mehrere Prozesse wie Ätzen und Auswerten einfach in einem einzigen Durchlauf durchzuführen. Vector Express verfügt auch über erweiterte Funktionen zur Fernüberwachung, Diagnose und Rückverfolgbarkeit. Die Fernüberwachung ermöglicht es Benutzern, auf alle Details bezüglich der Ätz-/Ascheprozesse wie Ätz-/Ascheraten, Temperaturen, Druck usw. zuzugreifen. Benutzer können auch Ätzrezepte auf Rückverfolgbarkeit und Reproduzierbarkeit verfolgen. Die Maschine ist auch mit vollständiger Werkzeugüberwachung konzipiert, sodass Benutzer aktuelle Ätz-/Aschezahlen, Druck- und Temperaturdaten und Zykluszahlen anzeigen können. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ermöglicht mit seinen fortschrittlichen Technologien hochvolumiges, effizientes Ätzen und Aschen mit enger Prozesskontrolle und überlegenem Durchsatz und Erträgen. Die Vielseitigkeit der Plattform ermöglicht es, sie an eine Vielzahl von Prozessanforderungen anzupassen, und die erweiterten Funktionen zur Fernüberwachung und Rückverfolgbarkeit bieten eine vollständige Steuerung und Prozessverwaltung.