Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293625918 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist ein vollautomatischer Ätzer/Ascher, der für hohen Durchsatz, hohe Produktqualität und wiederholbare Prozessleistung bei niedrigen Betriebskosten entwickelt wurde. NOVELLUS Vector Express verdankt seine überlegene Leistung seinem robusten, zuverlässigen Design sowie seiner modularen, skalierbaren Architektur. LAM RESEARCH Vector Express arbeitet nach dem Prinzip des chemisch-mechanischen Polierens (CMP): eine Kombination aus mechanischer Kraft zur Entfernung von Oberflächenmaterial und chemischer Wirkung zur Auflösung des verbleibenden exponierten Materials. Dadurch kann Vector Express unerwünschte Oberflächenmaterialien effektiv von Werkstücken entfernen, von ultrapräzisen Ebenen bis hin zu Nanometertiefen, einschließlich Folien aus Aluminium, Wolfram und anderen Metallen. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express kommt mit einer breiten Palette von Kammerkonfigurationen, um verschiedene Kundenanforderungen zu erfüllen, einschließlich eines kombinierten Nass/Trockenprozesses, Plasmaätzen und Niederdruck-Trockenätzen. Jede Konfiguration wird mit Ätzwerkzeugen geliefert, die schnell ausgetauscht werden können, ohne dass eine erneute Qualifizierung der Kammer erforderlich ist. Die Kammer ist mit automatisierten mechanischen Funktionen wie Endpunkterkennung, Kammerbewertung und individuellen Werkzeugprozessen ausgestattet, was die Bedienung intuitiv und effizient macht. NOVELLUS Vector Express verfügt außerdem über eine integrierte Produktionsmanagementausrüstung, die den Fortschritt jedes Wafers automatisch verfolgt und Kunden in Echtzeit Einblick in ihre Ätz-/Aspirationsoperationen verschafft. Das System bietet auch eine Möglichkeit, Rezeptdaten zu speichern und abzurufen, um konsistente, vorhersehbare Ergebnisse während des gesamten Produktionsprozesses zu gewährleisten. LAM RESEARCH Vector Express wurde entwickelt, um die Anforderungen an die Partikelanzahl zu erfüllen, mit einer digitalisierten atmosphärischen Steuereinheit, die Umgebungspartikel eliminieren kann. Die Maschine bietet auch eine fortschrittliche Partikelkontrolllösung mit einem direkten Partikelmesstool, mit dem Prozessingenieure die Bearbeitungsbedingungen exakt anpassen können, um Verschmutzungen zu minimieren. Schließlich verfügt Vector Express über eine Reihe von Softwarelösungen, die Ausfallzeiten reduzieren und die Prozesserträge verbessern. Diese Lösungen, wie integrierte proaktive Diagnose- und Prozessüberwachungstools, ermöglichen es Kunden, Effizienz und Produktivität zu maximieren und Kosteneinsparungen auf die nächste Stufe zu heben. Insgesamt ist LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der eine robuste, zuverlässige Leistung und einen überlegenen Durchsatz mit außergewöhnlicher Wiederholbarkeit und niedrigen Betriebskosten bietet. Mit seiner modularen Architektur und integrierten Softwarelösungen macht NOVELLUS Vector Express die Steuerung und Überwachung von Prozessen einfach, verbessert die Erträge und minimiert Ausfallzeiten.