Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9294406 zu verkaufen

ID: 9294406
CVD Systems, 12" Process type: PESIN / PETEOS 2004 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist ein Ätzer/Ascher für die Hochdurchsatzverarbeitung in der Halbleiterindustrie. NOVELLUS Vector Express ist eine, Hochleistungshochleistungsmehrbalkenausrüstung, die für eine Vielfalt von Ätzen- und Absetzungsprozessen einschließlich des Anisotropic-Ätzens, isotropischen Ätzens und tiefen Ätzens verwendet werden kann. Es verwendet mehrere Betriebsmodi, um eine schnelle, präzise und gezielte Verarbeitung von Wafern zu ermöglichen, einschließlich eines Hochdurchsatz-Verarbeitungsmodus, der zum schnellen Ätzen oder Ablegen von Materialien verwendet werden kann. LAM RESEARCH Vector Express verwendet eine laserähnliche Lichtquelle, um Gleichmäßigkeit und Genauigkeit bei der Verarbeitung zu gewährleisten. Sein Lichtstrahl wird durch mehrere optische Komponenten verarbeitet, darunter eine digitale Spiegeleinrichtung (DMD) und einen räumlichen Lichtmodulator (SLM). Der DMD erzeugt eine präzise Kombination von Lichtwellen, die einen laserähnlichen Lichtstrahl erzeugen, während der SLM das Beleuchtungsmuster moduliert, so dass der Strahl genau geformt wird, um die spezifischen Anforderungen eines bestimmten Prozesses zu erfüllen. Vector Express verfügt auch über ein Ultra High Intensity Ion Beam (UHI-IB) System, das Ionen beschleunigt und auf das gemusterte Substrat lenkt. Diese Einheit ist in der Lage, bessere Ätzprozesse zu erzeugen, indem sie schnellere, feinere und präzisere Verfahren erzeugt. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express nutzt ein gekacheltes Ätzarray, das die Platzierung des Ionenstrahls programmiert, um spezifische Muster genau zu ätzen. Diese Maschine ist gut geeignet, tiefe und komplexe Muster mit hoher Qualität und Reproduzierbarkeit zu ätzen. NOVELLUS Vector Express ist in der Halbleiterindustrie weit verbreitet, da es verwendet werden kann, um komplexe Muster mit hoher Präzision und Geschwindigkeit zu ätzen und dabei minimale chemische Materialien zu verwenden. Es ist in der Lage, schnell genaue Ätzmuster zu produzieren, Materialien mit ausgezeichneter Konformität abzuscheiden und schnelle Prozesse mit sehr geringer thermischer Belastung durchzuführen. LAM RESEARCH Vector Express ist auch vollständig kompatibel mit herkömmlichen Ätz- und Abscheidungsprozessen, so dass Forscher die gleichen Werkzeuge, Geräte und Materialien für die Nass- oder Trockenbearbeitung verwenden können. Schließlich ist Vector Express benutzerfreundlich und erfordert eine minimale Wartung, sodass es schnell und einfach in bestehende Labor- oder Produktionsaufbauten integriert werden kann.
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