Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9235816 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine, die verwendet wird, um fein gemusterte Oberflächen mit komplexen Layouts zu schaffen. Es verfügt über eine hochauflösende XY-Stufe zur präzisen Ausrichtung des Wafers und ist mit einem Direct-to-Disc-Vakuumfutter für optimale Wafer-Handhabung und Positionierung ausgestattet. Das System verfügt über eine breite Palette von Prozessoptionen, die Flexibilität in der Produktion ermöglichen. Es ist für die Serienproduktion mit schnellen und genauen Prozessraten konzipiert und bietet präzise Wiederholbarkeit für Konsistenz über mehrere Auflagen. NOVELLUS Vector Express verfügt über eine Reihe von Werkzeugen und Funktionen für wiederholbare Prozesse wie eine hochgenaue 5-Achs-Linearantriebsstufe, eine große 8-Zoll-E-Beam-Quelle und einen integrierten Rezeptmanager für das vollständige Prozessmanagement. Es kommt auch mit einem kompletten Satz von automatisierten intelligenten Reinigungsmitteln wie Sprühreiniger und integrierte Lastschlösser für zuverlässige Wafer-Handhabung. Mit seinem präzisen, flexiblen, steuerbaren und wiederholbaren Prozess ist LAM RESEARCH Vector Express eine ideale Wahl für das Ätzen/Asering von Layouts mit hoher Dichte. Das Gerät ist auch für die Kompatibilität mit der neuesten Generation von Submicron-Technologie konzipiert und kommt Standard mit Multi-Zone-Scannen für fehlerfreien Betrieb. Vector Express ist mit einem wartungsarmen, effizienten Layout gebaut, das die Bedienung und Wartung vereinfacht und sich einfach mit anderen Maschinen für eine nahtlose Produktionsumgebung integrieren lässt. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsfunktionen zum Schutz seiner Betreiber, einschließlich einer umfassenden Gaslecksuchmaschine, einer begrenzten Raumüberwachung und eines Lüftungswerkzeugs. Es ist auch mit Fernbedienungsfunktion gebaut, so dass die Betreiber die Asset-Vorgänge fernüberwachen können. Mit all diesen Funktionen ist NOVELLUS Vector Express eine zuverlässige und sichere Ätz-/Aschelösung für Produktionslinien.