Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9270599 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der Schichten unterschiedlicher Dicke auf Substraten abscheiden und ätzen kann. Dieser innovative Ätzer/Ascher verwendet einen Laser Activated Macro Mechanism (LAMM), mit dem Benutzer ultrapräzise Bearbeitungen der Schichtzusammensetzung vornehmen können. LAMM reduziert auch drastisch die Zykluszeit, die benötigt wird, um Schichten zu ätzen und abzulegen. NOVELLUS Vector Express eignet sich für Anwendungen, die einzelne oder mehrere Schichten aus verschiedenen Materialien benötigen und Aluminium, Polysilizium, Siliziumdioxid, Siliziumnitrid und Wolframmaterialien mit großer Präzision abscheiden oder ätzen können. Der Ätzer/Ascher hat eine maximale Substratgröße von 380x380mm und kann bis 0,5 µm runterätzen, mit hoher Qualität auf dünnen Schichten. LAM RESEARCH Vector Express verfügt über ein einzigartiges Werkzeugdesign, das konsistente und wiederholbare Ätzergebnisse gewährleistet. Das Gerät ist mit zwei vorjustierten Lasern ausgestattet, die mit der Plattform des Ätzers synchronisiert sind. Dies ermöglicht ultraglatte Plasmaprofile über den Ätzbereich, die die Geschwindigkeit steuern, mit der die Materialien geätzt werden. Vector Express verfügt zudem über ein integriertes adaptives Scanning, das eine leistungsarme Optimierung und präzise Ätz-/Abscheidungsschichten ermöglicht. Aufgrund der hohen Präzision und Wiederholbarkeit von LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express kann es für eine Reihe anspruchsvoller Ätz-/Abscheidungsprozesse eingesetzt werden. Es ist hocheffizient und kann Substrate bis zu 200mm dick handhaben. Der Ätzer ist serienfähig und hat eine maximale Ätzrate von bis zu 300 Wafer pro Stunde. Darüber hinaus ist NOVELLUS Vector Express für eine minimale Wartung ausgelegt, dank seiner benutzerfreundlichen Benutzeroberfläche und der schnellen, leicht austauschbaren Teile. Dieser hochmoderne Ätzer/Ascher ist die perfekte Lösung für jeden Ätz-/Abscheidungsprozess. LAM RESEARCH Vector Express eignet sich für eine Reihe von Anwendungen, mit seiner hohen Präzision, Wiederholbarkeit und Effizienz, so dass es eine ideale Wahl für alle hohen Serienbedürfnisse ist.