Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9251477 zu verkaufen

Der LAMLAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist ein branchenführender Etcher/Asher für die Herstellung von hochpräzisen Halbleiterbauelementen. Diese Maschine verwendet fortschrittliche Technologie, um einen hohen Durchsatz und ein genaues Ätzen verschiedener Geräteschichten zu erreichen. NOVELLUS Vector Express ist mit zuverlässiger Samco-Plasmaquelle für optimierte Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit ausgestattet, die Prozessstabilität bietet, um leistungsfähige Wafer mit minimalen Defekten zu produzieren. Seine proprietären DUPMAS und SAMCOFIT Algorithmen helfen auch, stabile Prozesse zu etablieren. LAM RESEARCH Vector Express bietet schnelle Ätzraten und genaue Wafer-Musterung dank der strengen Steuerung seiner Prozessgrößen wie Leistung, Druck und Temperatur. Die fortschrittliche IXE (Ion Exchange Etching) -Technologie ermöglicht auch hohe Ätzgenauigkeit, indem sie einen breiteren Dynamikbereich zur Steuerung der Ätzgleichmäßigkeit bietet, auch bei Mustern mit hohem Seitenverhältnis. Darüber hinaus bietet dieses System auch effiziente Wafer-Lade- und Sortierfunktionen. Vector Express enthält eine induktiv gekoppelte Plasmaquelle mit hoher Dichte (ICP), um die optimale Kombination aus Ätzrate, Ätzanisotropie, Ätzselektivität, Wafereinheitlichkeit, Tiefeneinheitlichkeit und Prozesswiederholbarkeit bereitzustellen. Dieses System ist mit einem fest gesteuerten Spannfutterkopf ausgestattet, der den Wafer während des Ätzens festhält und eine Verschmutzung der Rückseite verhindert. Die ICP-Quelle kann reibungslos auf höhere Leistungen hochgefahren werden, wodurch die Prozesszeit weiter reduziert wird. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express kann mit einer Reihe von Oberflächenbehandlungen wie Abscheidung, Ätzen, Strippen und Strukturieren integriert werden. Es bietet auch erweiterte Funktionen wie FOUP-Steuerungsfunktionen für den Wafertransport, Produktrückverfolgbarkeit von FOUP bis zur Verarbeitung und automatisches Stapeln. Seine benutzerfreundliche Oberfläche bietet mehrere Menüoptionen und Einstellungen, die auf die Anforderungen jeder Anwendung zugeschnitten werden können. Zusammenfassend ist der LAMNOVELLUS Vector Express Ätzer/Ascher eine beeindruckende Maschine mit hohem Durchsatz und Präzisionsätzen verschiedener Geräteschichten. Die fortschrittliche IXE-Technologie ermöglicht es ihm, ausgezeichnete Wafer mit minimalen Defekten zu produzieren, und seine integrierte Plasmaquelle ermöglicht schnelle Ätzraten und eine extrem enge Kontrolle der Ätzgleichmäßigkeit. Es eignet sich sowohl für Produktions- als auch für Entwicklungsanwendungen.