Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9362218 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der ein präzises Ätzen und Aschen von Halbleiterstrukturen ermöglicht. NOVELLUS Vector Express nutzt fortschrittliche Technologien, um überlegene Ätzraten zu erreichen, die bis zu zehnmal schneller sind als herkömmliche Ätzprozesse. LAM RESEARCH Vector Express ist eine vollständig integrierte und kostengünstige Ätz- und Aschemaschine, die maximale Flexibilität und Produktivität in der Halbleiterherstellung ermöglicht. Vector Express bietet mit seinem leistungsstarken Steuersystem einen hohen Durchsatz, der eine maximale Prozessgeschwindigkeit von 25 cm/min ermöglicht. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express nutzt seine 4-Achsen-Bewegungseinheit und ermöglicht simultane Bewegungen entlang der X-, Y- und Z-Achse sowie eine Hilfsdrehachse. Mit einem patentierten, berührungslosen automatischen Folgemechanismus kann NOVELLUS Vector Express in einem einzigen Setup Ätz- und Ascheoperationen an großen Wafern durchführen. Die Kerntechnologie von LAM RESEARCH Vector Express ist seine DC-Plasmaquelle, die zu hohen Ätzraten und überlegener Gleichmäßigkeit in der Lage ist. DC-Plasmaquellen bieten niedrige Betriebskosten, da sie weniger Gase verwenden, minimale Verbrauchsteile und extrem geringe Wartung benötigen. Die DC-Plasmaquelle unterstützt auch eine Vielzahl von Gasen, um das Ätzen für bestimmte Anwendungen zu ermöglichen. Darüber hinaus ist Vector Express in der Lage, beispiellose Ebenen der Ätztiefe Gleichmäßigkeit zu liefern, mit seiner fortschrittlichen Plasmaquelle, die in der Lage ist, die Ätztiefen innerhalb weniger Tausendstel von einer Million über den Wafer eng zu steuern. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist auch mit erweiterten Prozesssteuerungsfunktionen konfiguriert, die eine präzise Prozesssteuerung mit einem Klick ermöglichen. Die Maschine bietet fortschrittliche Software-Tools wie seine Advanced Automated Etch Control (AAEC) und Low Total Pressure Etch (LTPe), so dass Benutzer hohe Prozesserträge bei minimaler Rüstzeit erzielen können. Darüber hinaus verfügt NOVELLUS Vector Express über ein extra langes Auspuffplenum-Design, um zuverlässige und effiziente Abgase chemisch reaktiver Ätz- und Aschegase aus der Prozesskammer bereitzustellen. Abschließend ist LAM RESEARCH Vector Express ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der eine maximale Produktivität und Prozessleistung bietet. Durch patentierte Technologien und ausgeklügelte Prozesskontrollfunktionen ist Vector Express in der Lage, qualitativ hochwertiges Ätzen und Aschen mit maximalem Durchsatz zu erreichen.