Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9390434 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist eine mehrkammerige, hochmoderne Batch-Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die in der Halbleiterverarbeitung verwendet wird. Ein vollautomatisierter Batch-Prozess, der eine beliebige Anzahl von Medienmaschinenzyklen gleichzeitig ausführen kann und einen hohen Durchsatz und eine hohe Genauigkeit ermöglicht. Das System umfasst drei unabhängige Kammern mit computergesteuerten Operationen, benutzerdefinierte Kammerdrucksteuerungen und einen Hochleistungs-HF-Generator mit variabler Frequenz zur Feinabstimmung der Leistung. NOVELLUS Vector Express ermöglicht kooperatives Ätzen, ein innovatives Verfahren, bei dem eine Ätzkammer die Wafer abwechselnd mit inertem Stickstoff (zum Ätzen) oder Aktivsauerstoff (zum Reinigen) versorgt. Das Gerät umfasst eine Vielzahl von Ätz- und Reinigungswerkzeugen, einschließlich Reactive-Ion-Ätz- (RIE) -Technologie, In-situ-Reinigung mit eingebetteter Sauerstoffplasmaquelle und programmierbare Trockenätzprozesse. Dadurch können unerwünschte Materialschichten abgetragen und gewünschte Leiter äußerst präzise abgeschieden werden. Die hochgenaue Bewegungssteuerung von LAM RESEARCH Vector Express sorgt für eine genaue Prozesswiederholbarkeit. Dies wird durch die erweiterten Daten-Handling-Funktionen der Maschine unterstützt, die Echtzeit-Analyse und Feedback des Prozesses bieten, so dass Bediener den Ätz- oder Ashing-Prozess optimieren und steuern können. Das Werkzeug kann auch zum Aschen von Geräten wie Waferhebern und anderen Halbleitergeräten verwendet werden, die häufig gereinigt werden müssen. Das Aschen ermöglicht einen wesentlich kontrollierteren Prozess als die manuelle Reinigung mit Lösungsmitteln, da unerwünschte Rückstände präzise und ohne Beschädigung der Komponenten entfernt werden. Um den Anwendern optimale Sicherheit zu bieten, verfügt Vector Express über ein zusätzliches Überwachungsmodul zur Überprüfung auf gefährliche Gasaustritte oder andere unsichere Bedingungen. Schließlich verfügt die Anlage als umweltfreundlichster Ätzer ihrer Klasse über ein integriertes Abgasmodell, um sicherzustellen, dass schädliche Gase sicher verwaltet und gefiltert werden.