Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9169612 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist eine leistungsfähige, effiziente Ätzausrüstung, die in der Halbleiterindustrie und verwandten Industrien eingesetzt wird. Es wurde entwickelt, um hohe Präzision, Zuverlässigkeit und schnelles Ätzen von Substraten wie Quarzscheiben, Siliziumsubstraten und anderen leitenden und nichtleitenden Materialien in einer Hochtemperaturumgebung bereitzustellen. NOVELLUS Vector Express ist in der Lage, Seitenverhältnisse von bis zu 1:25 zu ätzen und bietet einen hohen Durchsatz von bis zu 1,5 Wafern pro Minute. LAM RESEARCH Vector Express nutzt mehrere Hochleistungs-Ätzkammern mit jeweils einer unabhängig gesteuerten Prozesskammer und speziellen Pumpsystemen. Dieses System wurde entwickelt, um die Ablagerungszeit zu reduzieren, Waferschäden zu minimieren und überlegene Prozessgleichförmigkeit zu bieten. Darüber hinaus bietet das Gerät eine feinjustierte Steuerung des Ätzprozesses und ermöglicht eine präzise Kontrolle kritischer Merkmale. Innerhalb jeder Ätzkammer verwendet die Maschine eine mehrzonige Temperatur- und Druckregelung, um eine konsistente Umgebung in jeder Kammer zu schaffen. Dieses Werkzeug verfügt über integrierte Heizung und Kühlung für hohe Zuverlässigkeit ätzen. Zusätzlich nutzt die Ätzkammer eine eigene Gasmischanlage, die reaktive Gase auf Fluorbasis (z.B. SF6, NF3 und CF4) präzise und kontrolliert in die Ätzkammer einspritzt. Vector Express verfügt auch über ein Advanced Chamber Impedance Control (CIC) -Modell, das ein einheitliches Plasma für eine verbesserte Ätzleistung bietet. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express nutzt eine fortschrittliche benutzerfreundliche und intuitive grafische Oberfläche zur einfachen Steuerung und Programmentwicklung. Diese Ausstattung ermöglicht auch eine nahtlose Integration in alle gängigen Ätzsteuerungen für maximale Flexibilität und Produktivität. Es ist für minimale Wartung und Betriebszeiten konzipiert und für SEMI-Sicherheitsstandards für maximale Bedienersicherheit zertifiziert. NOVELLUS Vector Express ist in der Lage, ausgezeichnete Ätzqualität und -leistung in einer Vielzahl von Materialien und Anwendungen zu produzieren, was es zu einer zuverlässigen und effizienten Wahl für Anwendungen mit großvolumigem Ätzen macht. Es ist eine schnelle und kostengünstige Lösung, die überlegene Zuverlässigkeit, Effizienz und Einheitlichkeit bietet.