Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9215207 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist eine Ätz-/Aschermaschine, die für den Hochvolumendurchsatz und die Verarbeitung von Mustern mit hoher Dichte entwickelt wurde. NOVELLUS Vector Express verfügt über eine modulare Architektur, die sowohl Voll- als auch Teilbereichsmuster unterstützt und ein hohes Maß an Anpassung und Flexibilität bietet. Es wurde entwickelt, um eine einfache und einfache Anpassung der Prozessrezepte zu ermöglichen, basierend auf der Konfiguration des Systems. LAM RESEARCH Vector Express verfügt über eine große Zentraleinheit, ein Array von Speicherkanälen und eine hochpräzise DC-motorgetriebene Y-Achsen-Staging-Einheit. Die Y-Achsen-Staging-Maschine ermöglicht eine präzise Bewegung des Wafers während des gesamten Prozesses mit der Fähigkeit, den Wafer überall im Prozessbereich zu bewegen. Das Werkzeug schließt auch eine Hochleistungscomputerschnittstelle ein, Überwachung und Kontrolle des Prozesses von einem abgelegenen Standort berücksichtigend. Vector Express ist in der Lage, 450-mm-Wafer mit hochdichter Musterauflösung zu verarbeiten. Es verfügt auch über eine hochgenaue Planarisierungssteuerung sowie hochgenaue Videoprüfsysteme. Die zahlreichen Sensoren des Modells bieten Echtzeit-Überwachungs- und Steuerungsfunktionen, sodass die Geräte einen hohen Durchsatz mit minimalen Ausfallzeiten und maximaler Effizienz erreichen können. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express integriert eine umfassende Palette von Software-Tools und softwaregesteuerten Prozesssteuerungen, wie CDS (Computer-Directed-Scheduling) und SLE (Software-Led-Efficiency). Mit diesen Software-Tools können Kunden das System für ihre Produktionsanforderungen optimieren und NOVELLUS Vector Express in ihre bestehende Produktionsumgebung integrieren. Das Gerät ist in der Lage, eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessrezepten auszuführen. Diese Rezepturen können für verschiedene Ätzverhältnisse und Substratschutzanforderungen optimiert werden. Darüber hinaus ermöglicht LAM RESEARCH Vector Express Kunden, maßgeschneiderte Ätzprozesse für spezifische Anwendungen zu entwickeln. Die Ätz- und Ascheprozesse der Maschine entsprechen höchsten Industriestandards in Bezug auf Qualität und Nachhaltigkeit. Vector Express ist AEC-Q100 zertifiziert und weist auf seine Zuverlässigkeit hin. Das Tool erfüllt auch die Emissionsnormen für flüchtige organische Verbindungen der Umweltbehörde. Insgesamt ist LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ein idealer Ätzer/Ascher für Kunden, die einen schnellen Prozessdurchsatz, eine hochdichte Musterauflösung und hochwertige, anpassbare Rezepte benötigen. Es wurde entwickelt, um präzise und zuverlässige Ätz- und Ascheprozesse bereitzustellen und gleichzeitig Ausfallzeiten zu reduzieren und die Gesamtbetriebseffizienz zu verbessern.