Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293800039 zu verkaufen

LAMLAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist ein fortschrittlicher Hochleistungs-Ätzer/Ascher für verschiedene industrielle Anwendungen. Das Gerät ist zum Ätzen und/oder Aschen einer Vielzahl von Halbleitermaterialien, einschließlich Silizium und dotiertem Siliziumdioxid-Glas, ausgelegt. Es ist in der Lage, Funktionen bis zu 10 Mikrometer in der Breite und bis zu 200 Mikrometer in der Tiefe zu ätzen. Das NOVELLUS Vector Express System umfasst eine Hauptverarbeitungseinheit, ein Gashandlingmodul und eine Fernbedienung. Die Hauptverarbeitungseinheit besteht aus einem Massenstromregler, Stromversorgungen, HF-Generator, Lastschloß und Glühstation. Das Gashandhabungsmodul versorgt die Kammer mit den Prozessgasen, gegebenenfalls einschließlich Ätzmittel und Schutzmittel. Das Lastschloss kann bis zu zwei Wafer aufnehmen und ermöglicht ein schnelles Be- und Entladen der Einheit. LAM RESEARCH Vector Express ist mit verschiedenen Ätzverfahren ausgestattet, darunter anisotropes Nassätzen zur Isolierung von Silizium oder Mikrorohren in Glas. Der Multi Step Etch (MSE) -Prozess ermöglicht die Erzeugung tiefer Gräben mit der erforderlichen Form, ohne dass es zu Defekten oder Brüchen kommt. Es bietet auch einen Bosch-Geräteätzprozess, ein photolithographiebasiertes Ätzverfahren, das verwendet wird, um die Formen zu erzeugen, die in engem Kontakt mit Silizium erforderlich sind. Vector Express bietet auch Glühen. Mit diesem Verfahren lassen sich die Wafer rissfrei strukturieren, unerwünschte Defekte reduzieren und die Ausbeuten verbessern. Je nach Material kann ein Niederdruck-Schnellglühen, ein Niederdruck-HF-Glühen oder ein Niederspannungs-HF-Glühen aufgebracht werden. Die Maschine bietet auch die Möglichkeit, ein O2-Plasma zur zusätzlichen Desmearing und zur oxidfreien Reinigung der geätzten Merkmale zu verwenden. Abschließend ist LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ein Hochleistungswerkzeug, das hohe Erträge für verschiedene industrielle Anwendungen liefert. Es bietet eine breite Palette von Ätzprozessen für verschiedene Materialien, einschließlich Isolierung und Co-Integration verschiedener Materialien. Es bietet auch fortschrittliche Glühprozesse und Sauerstoffplasmareinigung, um Erträge zu optimieren und Defekte zu reduzieren.