Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293800641 zu verkaufen

ID: 293800641
CVD System.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist eine Ätz-/Aschermaschine, die überlegene Leistung und zuverlässigen Betrieb bietet. Es ist für die präzisesten Ätz-/Ascheprozesse ausgelegt, wie sie in der Halbleiterherstellung verwendet werden. NOVELLUS Vector Express bietet mit seiner patentierten Kammer-Level-Technologie (AFRC) eine hervorragende Produkteinheitlichkeit. Diese innovative Technologie passt die Ätzrate je nach Bedarf an, um die Anforderungen des Prozesses zu erfüllen, unter Beibehaltung der optimalen Substrattemperatur, um qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus verfügt das System über einen dynamischen Prozessmodus, der prädiktive Modellierung verwendet, um sich automatisch an sich ändernde Prozessbedingungen anzupassen, was eine hohe Produktqualität und Prozessgleichförmigkeit gewährleistet. Die automatisierte AFRC-Einheit auf Kammerebene hat die Fähigkeit, sowohl die Ätzrate als auch den Kammerdruck zu überwachen und anzupassen, wodurch sie hochgenau und zuverlässig ist. Es kann auch effektiv mit extremen Prozessbedingungen umgehen und liefert hervorragende Ergebnisse in Hochtemperaturprozessen. Darüber hinaus ermöglicht seine hochauflösende Hardware eine höhere Präzision als andere Ätzer/Ascher. Die Maschine verfügt über eine einfach zu bedienende Schritt-für-Schritt-Prozesssteuerung, die die Arbeit des Bedieners vereinfacht. Es bietet eine grafische Benutzeroberfläche (GUI) mit intuitiven Symbolen, die den Benutzer zu den richtigen Einstellungen führen und helfen, Benutzerfehler zu minimieren. Der Controller liefert auch Echtzeit-Informationen über den Status des Werkzeugs und ermöglicht es dem Benutzer, die Prozessparameter im Handumdrehen anzupassen. LAM RESEARCH Vector Express ist in der Lage, eine Vielzahl von Substraten und Materialien zu handhaben, darunter Silizium und Aluminiumsubstrate. Darüber hinaus bietet es eine Reihe von Prozessoptionen wie Metall-Metall-Ätzen, Flachätzen und Dünnschichtätzen. Darüber hinaus verfügt die Anlage über ein vielseitiges Kassettenlademodell, das einen einfachen Austausch von Kassetten und Substraten ermöglicht. Dadurch wird sichergestellt, dass die Ätz- und Aschvorgänge reibungslos und effizient ablaufen, so dass die Substrate schnell und unterbrechungsfrei bearbeitet werden können. Insgesamt ist Vector Express eine ausgezeichnete Wahl für Ätz-/Ascheprozesse, die Präzision und Geschwindigkeit erfordern. Diese Ausrüstung bietet überlegene Leistung, Zuverlässigkeit und Vielseitigkeit für eine Reihe von Ätz- und Ascheanwendungen. Es verfügt auch über eine einfach zu bedienende Schnittstelle und benutzerfreundliche Funktionen, die es ideal für den Einsatz in der Halbleiterindustrie machen.
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