Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293802072 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist eine Ätz-/Aschemaschine für die Waferlithographie. Das System ist mit einer Reihe von Standard-Fotolacken kompatibel und kann bis zu fünf verschiedene Ätzprozesse unterstützen. NOVELLUS Vector Express ist für Wafer-UV-Belichtungsanwendungen konzipiert und bietet überlegene Vorschubgeschwindigkeit, verbesserte Gleichmäßigkeit und ein breites Bedienfenster. Dieses Gerät verfügt über ein Sechsfeld-Drehfutter, das mit positiver und negativer Strukturierung arbeitet und sowohl ein- als auch zweiseitige Ätzprozesse ermöglicht. Es verfügt auch über ein Multi-Apertur-Array, das eine höhere Belichtungsgleichförmigkeit über große Bereiche bietet. Sein Lichtfeld besteht aus einem auswählbaren Array von roten, grünen und blauen LED-Belichtungsquellen, die für verschiedene Ätzprozesse fein abgestimmt werden können, um die Präzision und Qualität jedes Wafers zu gewährleisten. Diese Maschine verfügt auch über eine erweiterte Pulsweitenmodulation (PWM) -Steuerung, die hilft, Ätzraten genau zu steuern. Der PWM-Controller enthält ein integriertes Diagnosetool, das die Optimierungszeit minimiert und den Ertrag verbessert. Das Asset unterstützt speicherprogrammierbare Prozesse für schnelle Batch- und Rezept-Rückrufe. Es ist auch kompatibel mit einer Reihe von beliebten Lithographie-Modell-Controller wie DMD, DFB, ACORN, und SMD. Darüber hinaus ist LAM RESEARCH Vector Express mit einem Top-Down-Abscheidungsprozess konzipiert. Dies sorgt für eine bessere Kantenvorspannung, höhere Durchsatzraten und verbesserte Gleichmäßigkeit, die zu höheren Ausbeuten führen. Das Gerät verfügt zudem über ein Mehrzonen-Gasfördersystem, das zur Optimierung von Photolackmustern beiträgt und schnellere Prozesszyklen mit weniger Überbelichtung als andere Lithographiesysteme ermöglicht. Darüber hinaus verfügt Vector Express über erweiterte Sicherheitsfunktionen, die die Einheit sicher zu bedienen halten. Es beinhaltet einen zweistufigen Entspannungs- und Spülvorgang vor der Handhabung der Wafer. Ein Ultrahochvakuum wird in allen Stufen des Lithographieprozesses aufrechterhalten und durch seine wassergekühlten Maskenstufen ist sichergestellt, dass immer wieder Kühlmittel zur Verfügung steht, um die Beanspruchung des Wafers zu minimieren. Mit seinen leistungsstarken und effizienten Lithographiefähigkeiten ist LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express eine ideale Lösung für Halbleiterhersteller, die qualitativ hochwertige Chips und Wafer herstellen möchten. Sein erweitertes Feature-Set bietet die Vielseitigkeit, die erforderlich ist, um verschiedene Ätzprozesse zu unterstützen, und seine fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen machen es einfach zu bedienen und stellen sicher, dass Benutzer immer die vollständige Kontrolle über ihre Waferproduktion haben.