Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9099742 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist ein leistungsstarkes Ätz- und Ascherwerkzeug, das in Mikrofabrikationsprozessen eingesetzt wird. Es handelt sich um ein Mehrkammersystem mit acht unabhängigen Kammern, die mehrere Prozessschritte gleichzeitig durchführen können. NOVELLUS Vector Express ist eine Plattform zum Ätzen von Dielektrika, Metallen, Photoresists, Low-K-Materialien, zusammen mit Lückenfüllung und Reinigungsanwendungen. Der Ätzer verfügt über eine hohe Plasmaquellenleistung (PSP) von 1360W, die im Parallelbetrieb betrieben werden. Diese hohe Leistung sorgt für eine erfolgreiche Ermöglichung von Hochgeschwindigkeitsätzprozessen, die durch hohe Durchsätze für Mikrofertigungsbedarf sorgen. Darüber hinaus ist die hohe PSP vorteilhaft für das Ätzen von ätzempfindlichen Materialien und schwer ätzbaren Folien. Darüber hinaus eignet sich LAM RESEARCH Vector Express zum Ätzen von Mehrschichtstapeln aus traditionellen und fortschrittlichen Materialien. Die Flexibilität von Vector Express wird durch sein effizientes Kühlsystem weiter verbessert, das den Betrieb seiner Kammern im Bereich von 0-110 ° C ermöglicht. Hierdurch wird ein Ätzen nahezu beliebigen Materials ohne Beschädigung oder Verschlechterung des Substrats gewährleistet. Die temperaturgesteuerte Rolle und das Spannfutter von LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express sorgen für eine gleichmäßige und präzise Vorwärmung des Substrats, um ein gleichmäßiges Ätzen ohne Musterverzerrung zu ermöglichen. Es hat eine schnelle Wafer-Klima-Verschiebung von ± 20 ° C innerhalb von 5 Sekunden, die Defekte reduzieren und die Stromausbeute verbessern kann. Darüber hinaus ist seine thermische Regelgenauigkeit auch bei einer Stabilitätsrate von besser als 0,1 ° C ausgezeichnet. Damit eignet sich NOVELLUS Vector Express ideal zum erfolgreichen Ätzen empfindlicher Muster und zur Steigerung des Ertrags. Auch LAM RESEARCH Vector Express verfügt über ein hohes Maß an Prozesskontrolle. Seine prozessbasierte Schnittstelle wurde entwickelt, damit Benutzer alle Ätzparameter wie Plasmaintensität, Gasfluss, HF-Frequenz, Druck und Kühlmechanismus steuern können. Alle diese Einstellungen sind über die Schnittstelle leicht zugänglich und können einfach überwacht und angepasst werden, um den Ätzprozess zu verfeinern. Abschließend ist Vector Express ein führendes Ätz-/Ascherwerkzeug, das unübertroffene Flexibilität für das Ätzen verschiedener Mikrofabrikationsmaterialien bietet. Es eignet sich gut zum Ätzen von Eigenschaften mit hohem Seitenverhältnis und zum Arbeiten an komplizierten Mikromustern aufgrund seiner effizienten Temperaturregelung und hohen PSP-Fähigkeiten. Darüber hinaus ermöglicht die einfach zu bedienende prozessbasierte Schnittstelle eine einfache Steuerung und Überwachung aller Ätzparameter. All diese Funktionen machen LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express zu einer großartigen Wahl für diejenigen, die effiziente, präzise und qualitativ hochwertige Ätz- und Ascheoperationen durchführen möchten.