Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9372786 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express von NOVELLUS ist eine fortschrittliche Etcher/Ascher-Plattform für Präzisionsanwendungen, die eine präzise Mikrostrukturierung und Manipulation von Substraten erfordern. Es verfügt über eine Standard-Vakuumkammer, die isoliert ist, um die Partikelinfiltration zu reduzieren, eine integrierte Gas- und Chemieausrüstung sowie erweiterte Scan- und Fokus-Ionenstrahl-Fähigkeiten (FIB). NOVELLUS Vector Express verfügt zudem über eine einzigartige substratgestufte Oberflächensoftware, die automatisch eine Reihe flacher Kanäle zum Ätzen schmaler Wege ohne UV-Licht erzeugt. LAM RESEARCH Vector Express schließt auch eine Vielfalt der fortgeschrittenen Bearbeitung und kontrollierenden Eigenschaften wie Positionsfeedbacksysteme des Lasers/Balkens, fortgeschrittene Positionierungsmechanismen, automatisiertes Substrate Wafer Alignment System (SWAS) und eine kontrollierte Umgebungsluftkühlungseinheit ein. Die integrierte Gasfördermaschine ermöglicht es Benutzern, Parameter wie chemische Zusammensetzung, Druck und Temperatur für optimale Ätzbedingungen einfach anzupassen. Vector Express bietet aufgrund seiner Ionenstrahloptik ein unvergleichliches Maß an Genauigkeit und Präzision, das das Ätzen komplizierter Muster ermöglicht. Darüber hinaus kalibriert und pflegt sein fortschrittliches Prozesssteuerungstool automatisch optimale Ätzparameter. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express verfügt außerdem über eine intuitive Benutzeroberfläche, mit der Benutzer auf eine Vielzahl von Werkzeugen und Funktionen wie Substratauswahl, automatische und manuelle Ausrichtung und Parameterauswahl problemlos zugreifen können. Die Leistung von NOVELLUS Vector Express wird durch die mehrebene Gasströmung, den schnellen dielektrischen Schutzring-Entschichtungsprozess und die verbesserte Nassätztechnologie weiter verbessert. Das Modell enthält auch ein programmierbares Array von Düsenköpfen, mit denen Benutzer auf mehrere Ätztechniken auf einmal zugreifen können. Schließlich umfasst LAM RESEARCH Vector Express auch eine Reihe von Funktionen für die Datenanalyse und -überwachung nach dem Ätzen, die eine verbesserte Prozesskontrolle und eine verkürzte Inspektionszeit ermöglichen.