Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9378305 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist ein Allzweck-Ätzer/Ascher, ideal geeignet für die Mittel- bis Großserienfertigung einer Vielzahl von Halbleiterbauelementstrukturen. NOVELLUS Vector Express verfügt über eine robuste Filmabscheidung und ein einzigartiges Laser-Musterverfahren, das eine außergewöhnliche Schrittabdeckung und präzise Linientreue bietet. Das System ist mit allen gängigen Resistchemikalien kompatibel und ermöglicht sowohl Plasmaetch als auch erweiterte Optionen zur Entfernung von Photoresist. Darüber hinaus verfügt LAM RESEARCH Vector Express über einen neuartigen Prozessregler, der dem Anwender umfassende Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen zur Verfügung stellt. Vector Express ist für die Produktion mit hoher Ausbeute konzipiert, mit einem engen Fokus auf Kondensatoren, Transistoren und andere erweiterte Gerätestrukturen. Das Gerät verfügt über eine 200mm Handlingplattform, die ein effizientes Be-, Transport und Entladen von Wafern ermöglicht, und eine vollständige Palette von Prozessrezepten. Der Rezeptgenerator ermöglicht es dem Benutzer, schnell maßgeschneiderte Rezepte zu entwickeln und bietet eine leistungsstarke Plattform zur Prozessoptimierung. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express wurde entwickelt, um den Durchsatz und die Prozesserträge zu maximieren und gleichzeitig Zykluszeiten zu minimieren. Es verfügt über eine hochpräzise Hochdurchsatzkammer für spezielle Ätzanwendungen und für Schüttgutätzprozesse. Die Maschine wurde für überlegene Leistung in Batch- und Clusterkonfigurationen entwickelt. Das Werkzeug verwendet ein einzigartiges Laser-Musterverfahren, das klassische Techniken der Photoresist-Entfernung eliminiert und präzise Ätzmuster mit minimaler Linienbreitenvariation liefert. NOVELLUS Vector Express enthält auch zwei verschiedene Arten von Spurenkassetten, die einen optimalen Spurenabstand, Liniengenauigkeit und Mustertreue bieten. LAM RESEARCH Vector Express wird von einer breiten Palette von Hard- und Software-Tools für maximale Kontrolle und Automatisierung angetrieben. Es umfasst einen leistungsstarken Rezeptgenerator, ein integriertes Prozessparameter-Steuerungsmodul und ein erweitertes Datenprotokollierungs- und Analysepaket, mit dem der Benutzer den Ätzprozess verwalten und optimieren kann. Vector Express ist zertifiziert für den Einsatz in einer Vielzahl von Reinraumumgebungen, einschließlich ISO 14644-1 Klasse 5 und Klasse 7. Sein umfassendes Design und seine strengen Tests gewährleisten eine hohe Leistung, eine stabile Produktion und eine verbesserte Zuverlässigkeit und sind somit ideal für Anwendungen in kommerzieller und Forschungsqualität.