Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9412146 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 9412146
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2017
CVD System, 12"
LDR TEOS Primary process
USG/SiN Secondary process
Direct liquid delivery system (ADV TEOS)
ASTRON EX RPC Generator
SIRF RF Configuration
APEX 5513 HF Generator
PDX 2500 LF Generator
SERVO spindle, with water cooling
Pedestal Options: Conditioned low profile
Standard shower head
Gas box configuration: STD, 13-channels GB
Vortex ATM Robot
(2) FOUP
TDK Load port type
TAKEX Standard light curtain option
KASHIYAMA NV60 Load lock pump
2017 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher, der fortschrittliche Ätz- und Ätzprozesse verwendet, um eine hochpräzise Strukturierung und Ätzverarbeitung zu ermöglichen. Diese vielseitige Ausstattung kombiniert die neueste Technologie mit dem renommierten NOVELLUS Vector Express Ätzverfahren von LAM. LAM RESEARCH Vector Express wurde entwickelt, um die Gleichmäßigkeit, Genauigkeit und den Durchsatz der Verarbeitung zu verbessern und eine hochpräzise Fertigung selbst komplexester Topographien und Geometrien zu ermöglichen. Vector Express verfügt über zahlreiche Funktionen und Designelemente, um eine maximale Ätzleistung und eine verbesserte Benutzererfahrung zu bieten, mit modernsten Funktionen wie einer automatisierten Systemkalibrierung, fortschrittlicher Filmabscheidungs- und Ätzsteuerungssoftware und einer prominenten Benutzeroberfläche. Diese Funktionen ermöglichen es dem Gerät, überlegene Ätzkonsistenz und Einheitlichkeit zu bieten und den Zeitaufwand für Werkzeugwartung und Prozessoptimierung zu minimieren. Darüber hinaus sorgt die Maschine für eine automatisierte Rezepturerzeugung und Rüstfähigkeit sowie einen umfassenden Satz integrierter Prozessüberwachungswerkzeuge. Die Verwendung fortschrittlicher Sensoren und Prozessdiagnosesysteme zur Erkennung und Reaktion auf Prozessparameter ermöglicht es LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express, sich auf die optimalen Bearbeitungsparameter für jede Anwendung einzustellen. Auf diese Weise wird ein hochpräzises Ätzen durch eine breite Palette von Materialien sichergestellt, wodurch eine aufwendige manuelle Einrichtung und Kalibrierung entfällt. NOVELLUS Vector Express bietet ein integriertes Wafer-Handling-Tool, das zuverlässig und einfach zu bedienen ist. Die Wafer-Handling-Anlage wurde entwickelt, um unerwünschte Kontaminationen zu minimieren, indem eine dicht verschlossene und saubere Kammer mit einem verwirrten Abgasstrom und optimierten Substrat- und Sockeldesigns bereitgestellt wird. Auch dank des intuitiven SmartCart™-Modells von LAM, das die Positionierung des Wafers an der richtigen Stelle auf dem Substrat ermöglicht, ist das Wafer-Handling einfach und effizient. Die Geräte werden von einer robusten Softwareplattform angetrieben, die es Anwendern ermöglicht, ihre Rezepte einfach zu erstellen, zu speichern und zu laden sowie Unterstützung für Standard- und proprietäre Ätzprofile zu bieten. Die Anpassung des Ätzprozesses erfolgt einfach und intuitiv durch den Einsatz der integrierten Process Expert™ Software von LAM, die eine On-the-Fly-Ätzoptimierung ermöglicht. Seine intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht es Benutzern auch, schnell Rezepte zu entwickeln und sie schnell für die spätere Verwendung zu speichern. Insgesamt ist LAM RESEARCH Vector Express ein leistungsfähiges, zuverlässiges und benutzerfreundliches Etch/Asher-System, das branchenführende Ätzleistung und -effizienz bietet. Es ist das perfekte Werkzeug für das hochpräzise Ätzen und kann die anspruchsvollsten Anforderungen der Branche erfüllen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor