Gebraucht OXFORD Plasmalab 100 #293587250 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 100 ist ein Ätzer und Ascher für den Einsatz in einer Vielzahl von Ätzanwendungen. Dieses Gerät ist zuverlässig, robust und vielseitig einsetzbar und verwendet ein DC-gekoppeltes, niederdruck- und druckstärkeres magnetisch verbessertes, induktiv gekoppeltes Plasma (ICP), um Metall und dielektrische Schichten für elektronische Geräte und verwandte Anwendungen zu ätzen. Der Ätz- und Aschevorgang verwendet als zu ätzendes Substrat einen Streifen Zielmaterial, typischerweise Metall oder Dielektrikum, und eine Reihe von präzisionsgesteuerten Impulsen, um das Material zu Formen und Mustern zu ätzen. Zu den Hauptkomponenten von Plasmalab 100 gehören eine Plasmaquelle, eine Kammer, ein Regler und ein Vakuumpumpsystem. Die Plasmaquelle ist eine Kombination aus Niederdruck und kapazitiv gekoppeltem Hochdruck-Gleichstrom (CC-DC), wodurch das Gerät ein stabiles und hochgleichmäßiges Plasma bereitstellen kann. Dies liefert qualitativ hochwertigste Ätz- und Ascheergebnisse. Die Kammer besteht aus einer Vorkammer und einer Prozesskammer, wobei die Prozesskammer eine angepasste induktive Spule aufweist, um eine präzise Taktung des Pulses zum Ätzen/Aschen zu ermöglichen. Der Regler ist für die Steuerung der Parameter des Plasmas sowie für die Überwachung und Regelung der Druckniveaus zuständig. Die Vakuumpumpmaschine sorgt für einen niedrigen Druck in der Kammer und kann den Anforderungen einer bestimmten Anwendung angepasst werden. OXFORD Plasmalab 100 ist ein robustes und zuverlässiges Werkzeug, das mit einer Vielzahl von Metallen und Legierungen sowie hochkarätigen dielektrischen Materialien arbeiten kann. Das Asset bietet anpassbare und wiederholbare Ätzraten, die präzise wiederholbare Ergebnisse und Prozessoptimierung ermöglichen. Das Modell eignet sich für eine breite Palette von Ätzanwendungen, einschließlich 3D-Stacked-Chip-Verpackung und MEMS-Herstellung, sowie Mikroelektronik, integrierte Schaltung (IC) Verpackung, Wafer-Würfel und optische Fertigung. Darüber hinaus ist die Anlage in der Lage, zerbrechliche Materialien wie Polymer, Quarz und dünne Folien zu handhaben. Plasmalab 100 ist ein zuverlässiger und robuster Ätzer und Ascher, der in der Lage ist, eine breite Palette von Materialien zu ätzen, um den Anforderungen vieler Ätzanwendungen gerecht zu werden. Das System verfügt über präzise und wiederholbare Ätzraten und einstellbare Druckniveaus, die präzise Ergebnisse ermöglichen, die wiederholbar sind. Diese Einheit ist ideal für den Einsatz in IC-Verpackungen, MEMS-Herstellung und Wafer-Würfeln sowie in anderen Märkten und Anwendungen.