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OXFORD Plasmalab 100 #293830473
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Plasmalab 100

Reactive Ion Etcher (RIE).
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OXFORD Plasmalab 100 #293772814
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Plasmalab 100

Inductively Coupled Plasma (ICP) etcher No PC.
276
OXFORD Plasmalab 100 #293812431
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Plasmalab 100

Reactive Ion Etcher (RIE).
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OXFORD Plasmalab 100 #293798318
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Reactive Ion Etcher (RIE) CLEANSORB CS025SC ADIXEN Vacuum pump LAUDA MC 600 Circulation chiller Gas
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OXFORD Plasmalab 100 #293757023
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Plasmalab 100

PECVD System.
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OXFORD Plasmalab 100 #293743445
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Plasmalab 100

System, 6" (2) Process modules Quartz clamp, 6" PECVD Left chamber ICP/RIE Right chamber with turbo
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OXFORD Plasmalab 100 #293656747
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Plasmalab 100

PECVD System, 8" Process: SiN.
103
OXFORD Plasmalab 100 #9258339
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Plasmalab 100

Dry etcher No computer.
96
OXFORD Plasmalab 100 #293824078
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Plasmalab 100

Inductively Coupled Plasma (ICP) etcher.
73
OXFORD Plasmalab 100 #293810520
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Plasmalab 100

PECVD System.
74
OXFORD Plasmalab 100 #293766784
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Plasmalab 100

PECVD System, 8".
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OXFORD Plasmalab 100 #293641059
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Plasmalab 100

ICP System, 6".
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OXFORD Plasmalab 100 #9364613
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Plasmalab 100

ICP Etcher, 2"-6".
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OXFORD Plasmalab 100 #9364612
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Plasmalab 100

PECVD System, 2"-6".
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