Gebraucht OXFORD Plasmalab 100 #293743445 zu verkaufen
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ID: 293743445
Wafergröße: 6"
System, 6"
(2) Process modules
Quartz clamp, 6"
PECVD Left chamber
ICP/RIE Right chamber with turbo
Endpoint detector laser
Square loadlock with rotating arm
PLC Controller
(3) Oil pumps
Chiller
PC
PECVD Gas pod: SiH4 (Silane), N2O and NH3 (Ammonia)
ICP/ RIE Gas pod: C4F8, O2 and He
Operating system: Windows 2000.
OXFORD Plasmalab 100 ist ein hochentwickelter Ätzer/Ascher, ideal für ein breites Spektrum an Forschungs- und Industrieanwendungen. Mit seiner fortschrittlichen Technologie bietet dieses Gerät präzise und präzise Ätz- und Aschefähigkeiten für Forschungs- und Entwicklungslabore. Dieser Ätzer/Ascher verfügt über einen leistungsstarken 200-Watt-HF-Generator, der hohe Ätz- und Ascheraten ermöglicht. Die voll integrierte, einfach zu bedienende Steuerungssoftware ermöglicht eine einfache Auswahl von Ätz- und Ascheparametern. Darüber hinaus bietet das System ein großes und intuitives 16-Zoll-Vollbild-Touchscreen-Display, mit dem der Benutzer den Fortschritt des Ätz- und Ascheprozesses einfach steuern und überwachen kann. Plasmalab 100 bietet auch eine Vielzahl von Ätz- und Aschemöglichkeiten. Es unterstützt eine breite Palette von Substratmaterialien, und seine robuste Plattform macht es ideal für Anwendungen mit höherer Leistung. Es kann auch verwendet werden, um gemusterte Substrate einschließlich Wafer, Düsen und keramische Substrate zu ätzen, und kann eine Reihe von Merkmalsgrößen und -tiefen erzeugen. Damit eignet es sich für eine Vielzahl von industriellen, mikroelektronischen, Halbleiter- und biologischen Forschungsanwendungen. Dieses System bietet eine Vielzahl von Prozesssteuerungsfunktionen, um absolut wiederholbare und reproduzierbare Ergebnisse zu gewährleisten. Es bietet sowohl manuelle als auch automatisierte Ätz- und Aschesteuerung, die eine präzise Steuerung der Ätz- und Ascheraten ermöglicht. Darüber hinaus verfügt es über eine einzigartige turbulente ionisierte Plasmaquelle (TIP), die bei Veränderung der Prozessparameter eine schnelle Reaktion liefert, was zu einem sehr homogenen Plasma in der gesamten Einheitskammer führt. Es verfügt auch über eine Gasdusche, die eine gleichmäßige Gasverteilung gewährleistet und die Partikelbildung reduzieren kann. OXFORD Plasmalab 100 verfügt zudem über eine doppelt gekühlte Platte, die eine effiziente Wärmeabfuhr beim Ätzen und Aschen ermöglicht. Für extrem hohe Ätz- oder Ascheraten bietet es eine schnelle Kühlmaschine sowie eine verbesserte Kühlkomponente, die die Kühlleistung um bis zu 80% erhöht. Zu den fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen gehören ein Sicherheitsgehäuse und ein Not-Aus-Schalter. Es ist CE-zertifiziert und ist in zwei verschiedenen Modellen erhältlich - eines für den industriellen Einsatz und das andere für den Laboreinsatz. Schließlich kommt es mit einer zweijährigen Garantie, die die Teile, Arbeitskosten und Reisekosten deckt.
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