Gebraucht OXFORD Plasmalab 100 #293666727 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 100
ID: 293666727
System.
OXFORD Plasmalab 100 (kurz P100) ist ein fortgeschrittener Plasmaätzer oder Ascher, der zum Plasmaätzen und -verarbeiten verwendet wird. Es ist ein vollautomatisches, 6-achsiges Roboter-Arm-System, das mittels computergesteuerter Plasmabearbeitung Materialien von Substraten oder Wafern ätzen, profilieren oder entfernen kann. Der P100 verfügt über eine Vakuumkammer und Verbrauchsmaterialien in einer großen Roboterarmbaugruppe. Die Vakuumkammer ist für maximale Gleichmäßigkeit und minimale Verweilzeit des zu bearbeitenden Materials ausgelegt. Die Kammer ist druckdicht, um Verunreinigungen zu verhindern und einen geringen Grad an Ionenverunreinigung während der Plasmabearbeitung zu halten. Dies gewährleistet gleichbleibend hochwertige Ätzergebnisse für ein breites Anwendungsspektrum. Die P100 verfügt über eine hochauflösende CCD-Kamera und hochpräzise kapazitiv gekoppelte Plasma (CCP) -Ätzung, die das Auftreten von Kreuzkontamination reduziert und höchste Qualität für Ihre Produkte gewährleistet. Je nach verwendetem Verfahren kann die Kammer unter Druck gesetzt oder evakuiert werden. Die Roboterarmanordnung ist aus einer hochfesten Legierung mit einer diamantartigen Beschichtung gefertigt, um eine lange Lebensdauer und einen längeren Einsatz des P100 zu gewährleisten. Der P100 besteht aus vier verschiedenen Komponenten: dem Hauptcontroller, der Fernkonsole, dem Monitor und dem optischen Lesegerät. Der Hauptcontroller, der über ein 13-Zoll-Touchscreen-LCD betrieben wird, ermöglicht es dem Benutzer, Prozessparameter und Steuerparameter einzugeben. Die Remote-Konsole ist ein separates Display, mit dem Etch-Tabellen für eine schnelle und einfache Prozesssteuerung ausgeführt werden. Der Monitor ermöglicht es dem Benutzer, den Prozessfortschritt zu überprüfen, während der optische Leser sicherstellt, dass die Waferposition genau und konsistent ist. Dies ist unerlässlich, um konsistente Ergebnisse zu erzielen. Der P100 verfügt zudem über zahlreiche Sicherheitsmerkmale wie einen Not-Aus-Knopf, einen Entlüftungsknopf und eine Alarmanlage. Diese Funktionen sollen sicherstellen, dass nichts überarbeitet wird und der Prozess niedrig schädlich und schädlich ist. Insgesamt ist Plasmalab 100 ein fortschrittliches, robotergesteuertes Plasmaätz- und Aschensystem, das Präzisionsergebnisse zu angemessenen Kosten erzielen kann. Es bietet dem Anwender zuverlässige, sichere und automatisierte Ätzprozesse und ist in der Lage, Wafer mit absoluter Genauigkeit zu positionieren, was es für eine Vielzahl von Anwendungen extrem vielseitig macht.
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