Gebraucht OXFORD Plasmalab 100 #293656747 zu verkaufen

ID: 293656747
Wafergröße: 8"
PECVD System, 8" Process: SiN.
OXFORD Plasmalab 100 ist ein Ätzer/Entwickler, der für den Einsatz mit einem breiten Spektrum von Vakuum-Dünnschichtabscheidungsprozessen konzipiert ist. Das Gerät verfügt über ein kompaktes und langlebiges Design, so dass es in vielen Industrie- und Laboreinstellungen verwendet werden kann. Plasmalab 100 ist mit einer Reihe fortschrittlicher Technologiekomponenten ausgestattet, die es ermöglichen, eine Vielzahl von Materialien zu ätzen und abzulegen. Dazu gehören Dünnschicht-Siliziumoxid, Nitrid, Aluminium, Titan, Wolfram und verschiedene Metalle, Legierungen und Oxide. Das Gerät verfügt über eine in sich geschlossene Kammer mit integrierter Pumpe zum Pumpen aller notwendigen Gase und Erzeugen des erforderlichen Vakuumdrucks. Seine dichte Kammerausführung gewährleistet eine gleichmäßige Zufuhr von sauberem Gas in die Abscheidekammer, was ein präzises und zuverlässiges Ätzen und Abscheiden von Materialien ermöglicht. Ein integrierter, programmierbarer Druckregler stellt den Druck in der Kammer automatisch auf optimale Ätzleistung ein. OXFORD Plasmalab 100 ist mit einer massiven 4 kW Stromversorgung ausgestattet, die in der Lage ist, die notwendige Leistung zu liefern, um eine breite Palette von Ätzrezepten von niedrigen bis zu hohen Stromdichteprozessen anzutreiben. Eine einstellbare Ionenquelle ermöglicht es dem Benutzer, den Ionenstrahl auf das zu ätzende oder zu entwickelnde Material abzustimmen. Dies beinhaltet die Fähigkeit, die Energie- und Stromdichte sowie die Punktgröße einzustellen, die beide wichtige Parameter für das Ätzen einheitlicher Merkmale gleicher Größe und Tiefe sind. Das Gerät verfügt auch über Mittel- und Niederdruckeinstellungen, die vom Benutzer je nach Art des Materials und der Tiefe des erforderlichen Ätzes angepasst werden sollten. Die On-Board-Diagnose zeigt Gasfluss, Kammerdruck, Ionenstrahlparameter und mehr während des Ätzens in Echtzeit an. Dies ermöglicht eine vollständige Kontrolle und Überwachung des Ätzprozesses. Plasmalab 100 ist eine zuverlässige und robuste Einheit, die einfach zu installieren und zu bedienen ist. Sein einfaches Bedienfeld ermöglicht einen schnellen Zugriff auf alle notwendigen Werkzeuge, die auf spezifische Ätzbedürfnisse zugeschnitten werden können. Gleichzeitig verfügt es über fortschrittliche Sicherheitssteuerungsmechanismen, um sicherzustellen, dass Gefahrstoffe wie brennbare Gase sicher und verantwortungsbewusst eingesetzt werden.
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