Gebraucht OXFORD Plasmalab 100 #9364613 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 100 ist ein Ätzer/Ascher auf Basis einer induktiv gekoppelten Plasma (ICP) -driven Quelle. Sie besteht aus einer einzigen großen Quellkammer, in die eine Vielzahl von Gasen eingespritzt werden kann, um das Ätzen/Aschen unterschiedlichster Materialien zu ermöglichen. Die Kammer ist sowohl für den Einsatz mit großen Wafersubstraten als auch mit den gewünschten Plasmaparametern für hochpräzise Ätz-/Ascheergebnisse ausgelegt. Es ist mit einer niederdruckinduktiv gekoppelten Plasmaquelle ausgestattet, die sowohl Ionen als auch neutrale Spezies zum Ätzen/Aschen liefert. Das selbstvorspannende System ermöglicht die Einstellung von Plasmaparametern wie Quellenleistung, Elektrodentrennung und HF-Frequenz. Die Kammer von Plasmalab 100 ist in der Lage, Proben mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll zu ätzen/zu aschen und gleichzeitig ultrahohe Ätzseitenverhältnisse zu erzielen und die Verzerrung der Proben zu minimieren. Es ist mit einer Vielzahl von Hardware- und Softwarefunktionen ausgestattet, die die Steuerung von Parametern wie Prozessdruck, Gasströmungen, Vorwärts- und Rückwärtssputtern der Waferoberfläche und die Fähigkeit, Proben unterschiedlicher Höhe zu verarbeiten, ermöglichen. Darüber hinaus umfasst es einen eingebauten Druckmonitor und eine Niederdruckpumpe, die den Druck innerhalb der Kammer auf sehr niedrige Werte reduzieren kann. OXFORD Plasmalab 100 verfügt zudem über ein hochauflösendes Bildgebungssystem, mit dem Ätz-/Ascheprozesse in Echtzeit überwacht und somit der Bedarf an nachbearbeiteter Bildgebung minimiert werden kann. Sein automatisiertes Pumpsystem ermöglicht die wiederholte Messung von Ätz-/Ascheprozessen und ermöglicht eine präzise Einstellung von Plasmaparametern für eine verbesserte Wiederholbarkeit. Plasmalab 100 verfügt auch über Schutzverschlüsse, um das Risiko von Überdruck und Explosivität in der Quellkammer zu minimieren. OXFORD Plasmalab 100 enthält auch einen Hochleistungs-HF-Generator, der Frequenzen im Bereich von 500 bis 5000 Hertz erzeugen kann. Diese Funktion ermöglicht die Variation von Prozessparametern und die Optimierung von Ätz-/Ascheprofilen, um dem gewünschten Ergebnis des Kunden besser entsprechen zu können. Zusätzlich überwacht eine Reihe integrierter Sicherheits- und Sicherheitsalarme den Druck innerhalb der Kammer, um optimale Arbeitsbedingungen zu gewährleisten. Plasmalab 100 umfasst auch mehrere eingebaute Überwachungssysteme, die dazu beitragen, die Wartungskosten zu senken, indem Benutzer darauf hingewiesen werden, wenn Wartungsarbeiten erforderlich sind. Insgesamt ist OXFORD Plasmalab 100 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher mit allen Funktionen, die erforderlich sind, um hochpräzise Ätz-/Ascheergebnisse zu erzielen. Seine umfassenden Eigenschaften machen es für eine Vielzahl von Ätz-/Ascheanwendungen geeignet. Die ausgeklügelten Hardware- und Softwarefunktionen, gepaart mit integrierten Sicherheitssystemen, sorgen dafür, dass Plasmalab 100 allen Anwendern eine konsistente und zuverlässige Ätz-/Ascheleistung bietet.