Gebraucht OXFORD Plasmalab 100 #9258339 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 100 ist ein hochpräziser Plasmaätzer/Ascher, der wissenschaftlich entwickelt wurde, um eine optimale Prozessleistung zu erzielen. Es ermöglicht ein schnelles, genaues Ätzen und Aschen der anspruchsvollsten Substrate und Materialien wie organische Dielektrika, Metalle, Nitride und andere schwer ätzbare Materialien. Das Werkzeug verwendet genaue Substratheizung und hocheffiziente modulare aktive visuelle Abscheidungssteuerung für die Herstellung von Komponenten. Plasmalab 100 verfügt über automatisierte Verlade-, Endpunkt- und Gasverwaltungsfunktionen. Die automatisierte Gefäßbeladung sorgt dafür, dass die Substrate innerhalb der Kammer in einer sicheren Umgebung platziert werden. Endpunktdetektion ermöglicht die Überwachung von Gasfluss, Zeit, Druck und HF-Leistung. Das Gasverwaltungssystem steuert die für einen erfolgreichen Ätz-/Ascheprozess erforderlichen Prozessparameter. Das System hilft auch, Ausfallzeiten durch Substrat Handhabungsfehler verursacht zu reduzieren. Das System ist mit einer großen Kammer integriert, um ein gleichmäßiges Ätzen auf dem gesamten Wafer zu ermöglichen. Diese große Kammer beherbergt die Plasmaquelle, Elektroden und die prozessspezifischen Dämpfe zur Durchführung des Ätzprozesses. OXFORD Plasmalab 100 ist in zwei verschiedene Arten von Plasmaquellen integriert, nämlich RF Source und Magnetron Plasmaquelle. Die HF-Quelle wird hauptsächlich für Trockenätzprozesse verwendet, während die fortschrittlichere Magnetron-Plasmaquelle ideal für Nassätzprozesse ist. Plasmalab 100 ist in hochpräzise Advanced Temperature Control (ATC) -Systeme integriert, die es dem Werkzeug ermöglichen, den Wafer mit Genauigkeit auf die erforderliche Temperatur aufzuheizen. Dadurch werden hochgenaue Ätzprozesse bei minimaler Beeinflussung der Oberflächenqualität des Wafers gewährleistet. Es ist auch für eine maximale 400W der Leistung für den Wafer ausgelegt. Die hohe Leistung von OXFORD Plasmalab 100 ermöglicht auch schnellere Ätzprozesse. Plasmalab 100 ist in die fortschrittliche End Point Detection Technologie integriert, die eine genaue Echtzeitansicht des Ätzprozesses bietet. Diese Technologie ist extrem genau, bietet jedoch sehr niedrige Betriebskosten. Die Softwarepakete, die mit OXFORD Plasmalab 100 geliefert werden, bieten eine breite Palette von Prozessunterstützungsfunktionen. Insgesamt präsentiert Plasmalab 100 ein kostengünstiges und hochpräzises Ätz- und Aschewerkzeug für modernste Materialien. Die Genauigkeit und Präzision des Prozesses kann mit anderen Premium-Ätz-/Aschersystemen mit deutlich geringeren Gesamtkosten verglichen werden.