Gebraucht OXFORD Plasmalab 100 #293748565 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 100 ist ein Plasmaätzer/Ascher, der für kontrollierbare und wiederholbare Ätz- und Aschefunktionen in einer Vielzahl von Anwendungen entwickelt wurde. Mit seinem patentierten „Slotted Liner“ -Design umfasst die Ausrüstung eine Reihe von Komponenten, um Kontaminationen zu mindern und eine Hochgeschwindigkeitsbearbeitung zu ermöglichen. Plasmalab 100 wurde für den Einsatz in Forschung und Entwicklung und in der Produktion entwickelt und ist mit einem einzigen Substrathalter ausgestattet, der es ermöglicht, bis zu fünfundsiebzig (75) 150mm Wafer oder 145 mm Wafer zu verarbeiten. Es enthält auch eine einzelne 8 "RF-Spule, so dass es Substrate bis zu 500 um Dicke zu ätzen. Die Substratstromquelle kann bis zu 1.2kW Leistung mit einem maximalen Stehwellenverhältnis (SWR) von 1,4 für eine effiziente und wiederholbare Verarbeitung liefern. OXFORD Plasmalab 100 verfügt zudem über einen hochauflösenden Hi-Vision Flachbildschirm mit einer knackigen 5 Megapixel Auflösung. Auf diese Weise können Benutzer in Echtzeit hochauflösende Streaming-Bilder des Wafers/der Substrate im Ätzer/Ascher anzeigen. Weiterhin ist ein programmierbarer Logikcontroller (SPS) in das System integriert, um Prozesse wie Druck-, Temperatur- und HF-Leistungseinstellungen zu überwachen und zu steuern. Plasmalab 100 verfügt außerdem über mehrere Sicherheits- und Kontaminationsschutzmechanismen, um optimale Ergebnisse zu gewährleisten. Es ist mit einem fünfstufigen Staubfilter sowie einer Selbstkontrolleinheit ausgestattet, um zu verhindern, dass Rückstandspartikel in die Wartungszugangstürdichtung gelangen. Die Maschine verwendet auch inerte Gase und aktive Abschirmung, um zu verhindern, dass elektrisch leitfähige Partikel in die Kammer gelangen, so dass Plasmazerstörung und Geräteschäden verhindert werden. In Bezug auf ProzessChemie ist OXFORD Plasmalab 100 in der Lage, mehrere Chemien zu handhaben, einschließlich SF6 mit Sauerstoff, ArCl2, CHF3 und SF6, um nur einige zu nennen. Es verfügt auch über eine einzigartige PC-basierte Software, die ein schnelles Prototyping neuer Rezepte und wiederholbare Prozesstreue ermöglicht. Schließlich verfügt das Werkzeug über eine Auswahl von Kombinationen aus Kammerkapazität und Leistung, so dass es beispiellose Flexibilität und Skalierbarkeit für mehrere Prozessanwendungen. Insgesamt ist Plasmalab 100 eine ideale Wahl für Anwendungen mit Plasmaätzen und -veraschen, dank seiner leistungsstarken Funktionen, benutzerfreundlichen Kontrollen und robusten Kontaminationsschutzmechanismen.