Gebraucht OXFORD Plasmalab 100 #293640840 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 100 ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher für eine Vielzahl von Mikrofabrikationsanwendungen. Es ist ein Einkammer-Werkzeug, das sowohl positive als auch negative Photoresist ätzen und abscheiden kann. Plasmalab 100 ist sowohl nass als auch trocken ätzbar in einer Vielzahl von Anwendungen und verfügt über eine hochpräzise und stabile Ätzumgebung. Das Werkzeug basiert auf einer Massenstrom-Ätztechnik, die sich durch eine hohe Abtragsgeschwindigkeit bei geringer Profilschädigung auszeichnet. Es bietet eine einheitliche Ätzung in einer Vielzahl von Materialien, einschließlich Silizium, Galliumnitrid, SiGe und GaN-Verbindungen. OXFORD Plasmalab 100 ist mit einer kollisionslosen magnetohydrodynamischen (MHD) Technologie ausgestattet, die es ermöglicht, eine nahezu Null-Drift und vibrationsfreie Ätzumgebung zu erzeugen. Dies führt zu einer gleichmäßigen, qualitativ hochwertigen Ätzung unabhängig von der Umgebung. In Bezug auf Prozessgrößen weist Plasmalab 100 einen einstellbaren Plasmaauslöser, eine Gaseinspritzung und eine Gasdrehzahl auf, um das gewünschte Ätzrezept zu erreichen. Darüber hinaus weist sie einen programmierbaren Plasmadruckregler auf, der einen leicht anzupassenden Ätzvorgang ermöglicht. Mit seiner benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche kann OXFORD Plasmalab 100 den Ätzdruck, DC-Vorspannung, Ionenenergie, proportionale und derivative Zeiten und Ätzrate präzise steuern. Plasmalab 100 kann Photolack abscheiden, um Oberflächen mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu substraten. Seine Multielektroden-Plasmaquellen ermöglichen einen weiten Bereich von Ätzraten und weisen variable Kammerdrücke von bis zu 1,0 x 10-3 Torr auf. Der Aschvorgang hat eine automatische Temperaturfangfunktion, die die Aschetemperatur genau erfasst und ohne weitere Anpassung beibehält. OXFORD Plasmalab 100 verwendet Multi-Bounce-Magnetfeld-Konfigurationen zur Herstellung von Resiststreifen für fortgeschrittene Filmmusterung. Plasmalab 100 ist CE-zertifiziert und erfüllt die Anforderungen der EN 13485 und erfüllt die Normen ISO 13485 und QSR (GMP). Es erfüllt auch die Anforderungen von RoHS, EMC und CE. OXFORD Plasmalab 100 ist mit seinen fortschrittlichen Ätz- und Abscheidefähigkeiten sowie seiner Sicherheit und Umweltverträglichkeit eine ideale Wahl für viele fortschrittliche Mikrofabrikationsanwendungen.