Gebraucht OXFORD Plasmalab 100 #293660206 zu verkaufen
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ID: 293660206
Weinlese: 2005
System
With ICP 180
Gases: C4F8, CHF3, SF6
2005 vintage.
OXFORD Plasmalab 100 ist ein Ätzer/Ascher für präzises Plasmaätzen, der hohe Ätzgeschwindigkeiten und einheitliche Ätzprofile ermöglicht und gleichzeitig eine hohe Energieeffizienz und schnelle Probenverarbeitung bietet. Dieses Gerät umfasst eine benutzerfreundliche Tischplatte Vakuumkammer mit fortschrittlicher Vakuumtechnologie, hochpräzise Spannfutter und Elektroden und ein anwendungsspezifisches Softwarepaket zum präzisen Ätzen verschiedener Materialien in verschiedenen Tiefen. Mit dem homogenen Reaktor des Systems können Forscher Substrate gleichmäßig ätzen, ohne die Probe zu verschieben oder zu beschädigen. Hohe Ätzraten in Kombination mit einem hochpräzisen Spannfutter und einer Elektrodenanordnung ermöglichen es Anwendern, eine breite Palette von Materialien mit hochgenauen, reproduzierbaren Ätzprofilen genau zu ätzen. Darüber hinaus bietet Plasmalab 100 eine einheitliche Ätztiefe und Endpunktdetektion über eine einzigartige Gasförderplatte, die reaktive Gase gleichmäßig über das Substrat verteilt, um eine hohe Ätzgeschwindigkeit zu erreichen. Die fortschrittliche Vakuumtechnologie des Geräts ermöglicht auch ein extrem niedriges Druckregime zum hochauflösenden Ätzen von Untermikrongräben und anderen mikrofabrizierten Strukturen mit Funktionsgrößen bis zu 50nm. Dadurch wird ein Trockenätzprozess gewährleistet, der Niedertemperaturprofile erzeugt und ein praktisches Ätzen von fortgeschrittenen Geräten mit minimalem Delaminations- oder Bruchrisiko durch thermische Beanspruchungen ermöglicht. Das mitgelieferte Softwarepaket bietet umfangreiche Anwendungsprogrammierbarkeit mit Spitzenoptimierung, Substratmustererkennung, Endpunkterkennung, mehrachsiger Steuerung und vielen weiteren Steuerungsoptionen, um genaue und zuverlässige Ätzergebnisse zu gewährleisten. Zusätzlich kann ein adaptiver selbstlernender Ätzprozess konfiguriert werden, um die Ätzbedingungen für eine optimale Ätzrate und Profilsteuerung kontinuierlich zu variieren. Erweiterte Datenerfassungsfunktionen ermöglichen auch eine einfache Überwachung und Anzeige von Prozessparametern, Tageszeit, Haltbarkeit und anderen wichtigen Kennzahlen. OXFORD Plasmalab 100 ist eine ideale Lösung zum Ätzen von dünnen Folien, MEMS-Geräten und MEMS-Komponenten. Mit seiner hohen Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Funktionalität bietet es saubere, reproduzierbare Ätzprofile mit minimalem Risiko von Probeschaltung oder Beschädigung. Diese Maschine ist ideal für Forscher, die fortgeschrittene MEMS-Strukturen erforschen, die schnelles, einheitliches und zuverlässiges Ätzen benötigen.
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