Gebraucht OXFORD Plasmalab 100 #293798318 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 100 ist ein Ätzer/Ascher, der für irreversibles Präzisionsätzen und mikroskopische Oberflächenstrukturierung jedes starren Materials entwickelt wurde. Die Maschine ist in der Lage, organische und anorganische Materialien einschließlich Metalle, Legierungen, Dielektrika, Glas und keramische Materialien zu ätzen und zu aschen. Plasmalab 100 hat einen geringen Platzbedarf, bietet jedoch Platz für große Wafer und Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 10,25 Zoll. Sein flexibles Design ermöglicht eine breite Palette von Prozessparametern, was bedeutet, dass eine präzise Mikrostrukturierung bei extrem niedrigen, mittleren und hohen Temperaturen mit kontrollierter Atmosphäre durchgeführt werden kann. OXFORD Plasmalab 100 ist mit einem Präzisions-Massendurchflussregler (MFC) ausgestattet, der genaue und wiederholbare Gasströme sowie ein turbomolekulares Pumpsystem bereitstellt, um den Druck im System genau zu steuern. Eine Ladekammer ist in die Maschine integriert und ermöglicht ein schnelles und einfaches Be- und Entladen von Substraten. Die integrierte Plasmaquelle von Plasmalab 100 ist in der Lage, HF- und DC-Plasma mit einer „schwimmenden Elektrode“ -Technik zu produzieren. Mit dieser Technik kann OXFORD Plasmalab 100 extrem niedrige, kontrollierte Plasmadichten erzeugen, um eine hohe Genauigkeit und Präzision für Mikrostrukturierungsprozesse zu gewährleisten. Plasmalab 100 kann auch Tiefätzfähigkeiten bereitstellen, so dass Merkmale und Strukturen verschiedener Tiefen und Formen zuverlässig und mit wiederholbaren Ergebnissen hergestellt werden können. Die Maschine kann auch für Oberflächenmodifikationen durch Dotieren oder Abscheiden verwendet werden, um die gewünschten Eigenschaften des Materials weiter zu erhöhen. Um sicherzustellen, dass mit jedem Lauf beste Ergebnisse erzielt werden können, verfügt OXFORD Plasmalab 100 über eine integrierte Prozessüberwachung und -steuerung. Durch den Einsatz fortschrittlicher Prozessleitsysteme kann der Betrieb der Maschine in Echtzeit genau überwacht und angepasst werden. Dies hilft, hohe Qualität, wiederholbare Prozesse und zuverlässige Ergebnisse zu garantieren. Um die Fähigkeiten von Plasmalab 100 abzurunden, ist die Maschine voll kompatibel mit einer breiten Palette von Vor- und Nachbearbeitungshardware. Techniken wie Photolithographie, Röntgenbeugung (XRD), sekundäre Ionenmassenspektrometrie (SIMS), Oberflächenkraftmikroskopie (SFM) und optische Bildgebung können verwendet werden, um die resultierenden Muster zu überwachen und zu analysieren. Abschließend ist OXFORD Plasmalab 100 ein hochpräziser Ätzer/Ascher mit flexiblem Design und breitem Leistungsspektrum. Die integrierte Plasmaquelle und das Überwachungssystem ermöglichen es, bei niedriger Temperatur mit Wiederholbarkeit höchste Qualitätsergebnisse zu erzielen. Zudem ist es aufgrund der Kompatibilität mit verschiedenen externen Hardware möglich, die erzeugten Muster zu überwachen und zu analysieren.