Gebraucht OXFORD Plasmalab 100 #293824078 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 100 ist eine ELO-Ausrüstung, die qualitativ hochwertige, hochpräzise, kapazitiv gekoppelte Plasmaergebnisse (CCP) liefert. Das System erzeugt hochauflösende Funktionen mit überlegenen Aspekten, Gliederungsgenauigkeit und Definitionsgrad. Plasmalab 100 ist für den Einsatz mit Oxidätzen, Oxidabhebefotoresist und Oxidumätzverfahren optimiert. OXFORD Plasmalab 100 verfügt über Extrem Low Flow (ELF) Plasma-Technologie, die eine einzigartige kleine Gasstromeinheit verwendet, die sauberere, zuverlässigere Ätzungen durch konsistente Prozesszeiten und Gleichmäßigkeit liefert. Die Maschine kann elektronisch auf eine Vielzahl von Betriebsparametern mit schneller und flexibler Reaktion abgestimmt werden. Plasmalab 100 ist mit einer 12 "Vakuumkammer mit einer 50kHz Stromversorgung ausgestattet und liefert einen zuverlässigen, effizienten Ätzprozess. OXFORD Plasmalab 100 bietet auch automatische Frequenzabstimmung (AFT) Funktion, um dynamisch und automatisch die Frequenzeinstellung der Ätzkammer auf der Grundlage der Menge der Materialabtragung anzupassen. Dadurch können Anwender tiefere Ätzungen, glattere Wände und bessere Abmessungen erzielen. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine präzise XYZ Stage-Erkennung und eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI). Diese GUI ist so konzipiert, dass sie eine einfache und schnelle Möglichkeit bietet, Kammerparameter zu steuern und Ergebnisse zu replizieren, selbst während der Mitte eines mehrschichtigen Ätzauftrags. Die Anlage verfügt auch über umfassende, umfassende Prozesskontroll- und Diagnosefunktionen, einschließlich erweiterter Simulationsfunktionen, nicht gewarteter Fehlererkennung und Kammer-Statusüberwachung, um eine optimale Prozessleistung zu gewährleisten. Zusätzlich bietet Plasmalab 100 Balken defocus Sensor, automatisierte Fokuseinstimmung, programmierbare Balkenintensität und eine fortgeschrittene Schicht-für-Schicht-Rezeptbauen-Fähigkeit. Insgesamt ist OXFORD Plasmalab 100 ein effizienter und leistungsstarker Ätzer, der Anwendern gleichbleibend hochwertige Ergebnisse mit unschlagbarer Präzision und Gleichmäßigkeit liefert. Die fortschrittlichen Funktionen des Modells machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für Prototyp- und Produktionsätzanwendungen.