Gebraucht OXFORD Plasmalab 100 #293830473 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 100 ist eine Ätz-/Ascher-Ausrüstung für fortgeschrittene Probenvorbereitungs- und Abscheidungsanwendungen. Es ist ein Multi-Kathoden-Ätzer und Ascher-Kombination, ausgestattet mit Niederelektronenspannung. Es bietet volle Flexibilität in der Musterauslegung und Prozessparameterauswahl sowie die Möglichkeit, mit Standardsubstraten zu arbeiten. Plasmalab 100 verfügt über drei unabhängige Ätzkammern mit 20 cm Durchmesser, die jeweils mit zwei beweglichen Magnetronkathoden konfiguriert sind und in jeder Kammer doppelte und dreifache Prozesse ermöglichen. Das Hochgeschwindigkeitsscannen der Magnetrons ergibt zusammen mit der Möglichkeit des statischen Betriebs eine gute Ätzgleichmäßigkeit und -kontrolle. Das Prozeßgas wird mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten eingeleitet, so daß es immer in der optimalen Konzentration für Ätz-/Ascheprozesse ist. Das System enthält eine Reihe konfigurierbarer Prozessparameter und -merkmale. Die Kathodenleistung kann zwischen 0 und 350 W eingestellt und die Energie in 1 W-Schritten verändert werden. Es gibt eine Sicherheitsverriegelungs- und Steuereinheit, die die Integrität des Prozesses gewährleistet. Der Probenhalter hat einen universellen Träger für alle Arten von Substraten. OXFORD Plasmalab 100 bietet auch eine breite Palette von Aschetechniken, einschließlich Niedertemperatur-Ascherei, dielektrisches Ätzrücken und traditionelle Sauerstoff- oder Oxidationsmittel-basierte aggressive Ascherei. Darüber hinaus kann die Maschine auch Seitenwandpassivierung und Nitridierung durchführen. Ein LEIB-Werkzeug (Low-Energy Ion Bombardment) ist ebenfalls in der Werkzeugkette des Werkzeugs enthalten, um Partikel und Trümmer zu entfernen, die sich während des Prozesses bilden können. Das ETCH/ASH-Verfahren kann in situ entweder mit einem Massenspektrometer oder einem optischen Interferometer überwacht werden. Das Asset verfügt außerdem über ein integriertes Ferndiagnosetool, mit dem die Modellparameter schnell angepasst werden können. Plasmalab 100 ist eine unglaublich leistungsstarke Ausrüstung, die sich für eine Vielzahl von Anwendungen eignet, von der Probenvorbereitung über das Ätzen bis zur Abscheidung und Verarbeitung. Seine Flexibilität und erweiterte Funktionen machen es zu einer idealen Lösung für die anspruchsvollsten Anwendungen.