Gebraucht OXFORD Plasmalab 100 #9097045 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9097045
Wafergröße: 6"
ICP System, 6"
Currently configured for 4"
Inductive Coupled Plasma Source (180 ICP)
Chuck type: Mechanical Clamping
Load-locked single chamber (ICP)
Advanced Energy RFX600 13.56 Mhz RF Generator
Advanced Energy RFX3000 13.56 Mhz RF Generator
Alcatel ATH1300M Maglev Turbo Pump
Alcatel ACT 1300M Controller
HP Compaq Computer w/ Win NT 4.0
PC2000NT Software Ver. 2.57.92
LCD Monitor, Keyboard, and Mouse
(2) Leybold Vacuum Pumps
EMO Button
Operations Manual
(6) MFCs consisting of:
CHF3
SF6
O2
Ar
C4F8
BCL3
2002 vintage.
OXFORD Plasmalab 100 ist ein Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um verbesserte und wiederholbare Ergebnisse in der Plasmabearbeitung zu liefern. Dieses Gerät bietet eine vielseitige Plattform, die es Anwendern ermöglicht, schnell und einfach zwischen Ätz- und Ashing-Anwendungen zu wechseln und gleichzeitig sowohl Inline- als auch Batch-Konfigurationen unterzubringen. Diese vielseitige Ätzer/Ascher-Ausrüstung wird von OXFORD Advanced Radio-Frequency (RF) Plasma-Source-Technologie angetrieben, die einen Haupt-HF-Generator mit variabler Leistung bis zu 100s von Watt zusammen mit erweiterten Kammern für Abscheidung, Ätzen und Aschesteuerung verwendet. Plasmalab 100 verfügt über ein ultraschnelles Rezeptsystem zur schnellen Optimierung der Prozessergebnisse. Diese bearbeitete Stahlkammer verfügt über digitale PID-gesteuerte gleichmäßige Heizung und Kühlung, inerte Spülung und eine Vielzahl von Prozessrezepten. Das Gerät ist in der Lage, sowohl atmosphärische als auch Niederdruck-Ätzen und Aschen, so dass die kompatiblen und optimalen Prozessbedingungen in der Kammer immer eingehalten werden. Die eingebauten Sicherheits- und Schutzsysteme auf OXFORD Plasmalab 100 sind umfassend und umfassend und verhindern, dass der Anwender versehentlich die Kammer oder andere Komponenten beschädigt. Die Maschine umfasst Übertemperaturschutz, Überstromschutz und Sicherheitsverriegelungssysteme, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Das integrierte Rauchabzugswerkzeug entfernt alle verdampften Medien sicher, so dass es nicht in den Arbeitsbereich gelangt. Plasmalab 100 verfügt auch über eine integrierte Steuerung, die es Benutzern ermöglicht, die am häufigsten verwendeten Befehle wie Rezeptauswahl, Pumpensteuerung und Controller-Auswahl zu automatisieren. Dieses Steuermodell ermöglicht es Benutzern, schnell und einfach eine Vielzahl von Parametern mit nur einem Mausklick zu programmieren. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine komplette grafische Benutzeroberfläche, die eine Echtzeit-Überwachung und Steuerung vieler Systemparameter ermöglicht. OXFORD Plasmalab 100 ist ein kostengünstiger, vielseitiger Ätzer/Ascher, der eine verbesserte Wiederholbarkeit in Plasmabearbeitungsanwendungen ermöglicht. Durch die Nutzung der fortschrittlichen RF-Quelltechnologie bietet dieses Gerät eine Reihe von Vorteilen gegenüber herkömmlichen Ätzmethoden, wie bessere Prozessgleichförmigkeit und erhöhte Wiederholbarkeit. Darüber hinaus bieten die integrierten Sicherheitsschutzmaßnahmen eine sichere Arbeitsumgebung, während die eingebaute Steuerungsmaschine es dem Bediener ermöglicht, Prozesse schnell zu automatisieren.
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