Gebraucht OXFORD Plasmalab 100 #9220686 zu verkaufen

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ID: 9220686
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2000
ICP System, 6" Dielectric thin films with fluorine chemistry Single chamber LEYBOLD Dry pump Chiller and spare pump QDP-40 Pump for evacuating Manual included Does not included cassette loader 2000 vintage.
OXFORD Plasmalab 100 ist eine fortschrittliche Ätz- und Ascheausrüstung für präzise Plasmaätz- und Ascheanwendungen. Dieses System verwendet eine Kombination aus Hochleistungs-Hochfrequenz (HF) -Leistung und präziser Prozesskontrolle, um präzise Ätz- und Ascheergebnisse zu liefern. Das Gerät ist mit einer 12-Zoll-Magnetronquelle ausgestattet, die bis zu 2 kW HF-Leistung liefert, die massenbasiert 24-GHz. Diese Maschine ist in der Lage, mehrere Materialschichten ohne Überätzen und ohne Zugabe signifikanter Partikelverschmutzungen abzuscheiden. Plasmalab 100 verfügt über eine große Auswahl an Nachverarbeitungswaschmöglichkeiten, die eine Reihe von Anwendungen wie Materialaufbereitung, Photolithographie und Kontaminationsentfernung ermöglichen. Die werkzeugbasierte Energiezufuhr und Prozesssteuerung bieten eine breite Palette von Ätz- und Ascheoptionen wie Aluminiumätzen und Aschen, Siliziumätzen und Aschen, Glasätzen und Aschen sowie andere Arten von Ätzen und Aschen. Die Anlage eignet sich gut für Anwendungen wie die Vorbereitung von Proben für Wafertests, Lithographie und die Vorbereitung neuer Wafer. Das Modell kann sowohl isotrop als auch anisotrop ohne signifikante Partikeldurchdringung ätzen. Es ist auch mit einer hochkonfigurierbaren Chargenverarbeitungsanlage ausgestattet, die eine Vielzahl von benutzerdefinierten programmierbaren Parametern umfasst. OXFORD Plasmalab 100 ist einfach zu bedienen und zu warten und bietet Anwendern ein umfassendes Angebot an Werkzeugen zur Entwicklung komplexer Ätz- und Ascheprozesse. Das System bietet eine niederfrequente ECR-Quelle, eine automatische Stromzufuhr-Untereinheit sowie Einspulen- und Doppelspulenheizoptionen. Die Maschine verfügt außerdem über einen großen, 6 „x 12“ Arbeitsbereich, der eine Vielzahl von Probengrößen ermöglicht. Insgesamt ist Plasmalab 100 ein leistungsfähiges und zuverlässiges Ätz-/Aschewerkzeug. Es ist für Präzisionsätz- und Ascheergebnisse konzipiert und eignet sich gut für ein breites Anwendungsspektrum, von der Materialaufbereitung über die Kontaminationsentfernung bis hin zu Wafertests und Lithographie.
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