Gebraucht OXFORD Plasmalab 133 Plus #293651566 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 133 Plus
ID: 293651566
Wafergröße: 4"
Reactive Ion Etcher (RIE), 4".
OXFORD Plasmalab 133 Plus ist ein fortschrittlicher Plasmaätzer oder Ascher zum Durchführen von hochreinen und schadensarmen Ätz- und Ascheprozessen auf einer Vielzahl von Materialien, darunter Silizium, Polyimid, polymere Dielektrika und Legierungen. Diese Ausrüstung ist mit einer ultrahochreinen Plasmaquelle ausgestattet, die eine breite Palette von chemisch reaktiven Radikalen, molekularen und deratierten Ionen und Elektronen herstellen kann und ein hochpräzises Ätzen oder Aschen aller Arten von Materialien ermöglicht. Sein breites Spektrum an Prozessgasen ermöglicht das Ätzen und Aschen von dotierten oder undotierten Polymeren und Siliziummaterialien. Das System verfügt über hochgenaue und zuverlässige Leistung auf den Wafer angewendet, so dass es ideal für hochvolumige Präzision Wafer Verarbeitung. Plasmalab 133 Plus ist mit einer Quick-Change-Option konzipiert, die es Anwendern ermöglicht, innerhalb weniger Minuten zwischen dem Ätz-, Aschen- und dem Stand-Alone-Plasmareiniger zu wechseln. Die eingebaute automatische Druckregelung und die schnelle Zykluszeit verkürzen die Bearbeitungszeit und halten höchste Qualität aufrecht. OXFORD Plasmalab 133 Plus umfasst eine webbasierte Prozessüberwachungs- und Berichtseinheit. Diese Maschine bietet eine benutzerfreundliche Oberfläche und bietet Datenprotokollierungs- und Prozessrezepte. Sie hilft dabei, den Ätz- oder Ascheprozess zu optimieren und zu beschleunigen sowie die Rückverfolgbarkeit von Prozessen und den Zugriff auf Leistungsdaten zu gewährleisten. Plasmalab 133 Plus ist zudem eigenständig und einfach in bestehende Produktionslinien integriert. Der sehr wiederholbare Prozess und die konsistenten Ergebnisse machen es ideal für eine Vielzahl von Anwendungen wie Halbleiterverarbeitung, Leiterplatte und Verpackung und mikrofluidische Bauelemente. Dies macht es zu einer kostengünstigen Lösung für Ätz- und Ascheprozesse. Darüber hinaus verfügt OXFORD Plasmalab 133 Plus über eine einfach zu bedienende Kontrollstation, die eine einfache Bedienung und Einrichtung für neue Prozesse ermöglicht. Für Anwender, die Zugang zu einer Vielzahl von Prozessgasen benötigen, verfügt die Plasimalb 133 Plus über einen optionalen Sechs-Kammer-Gasschrank, der ein schnelles und müheloses Austauschen von Prozessgasen ermöglicht. Dieser Ätzer/Ascher ist die perfekte Lösung für die saubere, schadensarme Verarbeitung von Halbleiter- und anderen mikroelektronischen Materialien. Das fortschrittliche Design des Tools und die integrale webbasierte Leistungsüberwachung machen es sowohl kostengünstig als auch zuverlässig, sodass Benutzer die besten Ätz- und Ascheergebnisse erzielen können.
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