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OXFORD Plasmalab 133 Plus #9130693

OXFORD

Plasmalab 133 Plus

RIE (FL) dry etcher RIE set up for SiO2 Etch 330mm Platen RF Power: 600W, 13.56MHz Load lock with Tu
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OXFORD Plasmalab 133 Plus #293651566

OXFORD

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Reactive Ion Etcher (RIE), 4".
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