Gebraucht OXFORD Plasmalab 133 Plus #9130693 zu verkaufen
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ID: 9130693
Weinlese: 2004
RIE (FL) dry etcher
RIE set up for SiO2 Etch
330mm Platen
RF Power: 600W, 13.56MHz
Load lock with Turbo Pump
Water cooled electrode 10C-80C
Gas pod with 6 lines including following MFCs:
Ar: 100sccm
N2: 200sccm
CHF3: 200sccm
NF3: 200sccm
N2O: 200sccm
Windows PC , user friendly interface
2004 vintage.
OXFORD Plasmalab 133 Plus ist eine Ätz-/Aschemaschine, die für eine breite Palette von Plasmabearbeitungsanwendungen entwickelt wurde. Dieses Werkzeug ist mit einer schnellen Stromversorgung ausgestattet, die einen qualitativ hochwertigen Betrieb gewährleistet und gleichzeitig wertvolles Substratmaterial schont. Das System bietet Anwendern eine zuverlässige, einfach zu bedienende Schnittstelle für präzise, wiederholbare Prozesse. Es ist das ideale Werkzeug für Sputter Ätzen und Abscheiden in einer Vielzahl von Anwendungen, wie Leiterplattenproduktion, Datenspeichergerät Musterung und Nanotechnologie Geräteherstellung. Plasmalab 133 Plus wird von einem fortschrittlichen, dreistufigen Mehrfrequenznetzteil mit einer maximalen Ausgangsleistung von 200 W für einen effizienten, präzisen Betrieb angetrieben. Die Stromversorgung ist so konzipiert, dass sie eine konstante Leistung für wiederholbare Prozesse liefert und gleichzeitig den schwierigen Übergang von RF zu DC-Sputter-Ätzen beherrscht. Darüber hinaus ermöglicht der Generator die Verwendung der Einheit mit einer Vielzahl von Kammern, Düsen und Vakuum für eine optimale Prozessleistung. OXFORD Plasmalab 133 Plus ist mit einer eingebauten Vakuumkammer ausgestattet, die eine Vielzahl von Substratgrößen aufnehmen kann. Die Kammer weist eine dichte Struktur auf, die das Austreten von Ätzgasen verhindert und dafür sorgt, dass optimale Prozessbedingungen eingehalten werden. Darüber hinaus ist die Maschine mit einer automatischen Gasflussregelung ausgestattet, die es dem Benutzer ermöglicht, spezifische Prozessgaskonzentrationen mit genauen und wiederholbaren Ergebnissen zu programmieren. Plasmalab 133 Plus bietet zudem eine fortschrittliche, intuitive Softwareschnittstelle. Diese benutzerfreundliche Software bietet die Steuerung aller Prozessparameter, einschließlich Gasfluss und Druck, sowie Optionen, um Gasflussprofile, automatische Druckregelung und andere erweiterte Funktionen einzustellen. Darüber hinaus ist das Tool kompatibel mit zahlreichen CAD-Systemen zur einfachen Prozessintegration über Anlagen hinweg. Insgesamt ist OXFORD Plasmalab 133 Plus ein idealer Vorteil für präzise, wiederholbare Ätz- und Abscheidungsanwendungen. Die fortschrittliche Stromversorgung, die eingebaute Vakuumkammer und die intuitive Software sorgen dafür, dass Benutzer mit Leichtigkeit zuverlässige und qualitativ hochwertige Ergebnisse erhalten. Dieses vielseitige Werkzeug ist die perfekte Ergänzung zu jedem Labor, so dass Benutzer eine Vielzahl von Plasmaprozessen schnell und erfolgreich durchführen können.
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