Gebraucht OXFORD Plasmalab 133 Plus #293760250 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 133 Plus ist eine Plasmaätz-/Aschemaschine, die für industrielle Ätz- und Ascheanwendungen verwendet wird. Es kombiniert Hochleistungs-Mikrowellen-Plasmaquellen mit fortschrittlicher Ätz- und Aschetechnologie. Das System basiert auf einem 200 mm Plasmaprozessor und ist in der Lage, hochauflösende thermische und Plasmaprozessergebnisse zu erzielen. Dieses Gerät bietet eine breite Palette von Anisotropie-Kontrolle, so dass seine Benutzer sehr präzise Ätz- und Ascheergebnisse zu erzielen. Plasmalab 133 Plus bietet eine breite Palette von Funktionen. Es verfügt über eine gleichmäßige Auflösung von 1.200 µm, die bei der Verarbeitung von Materialien mit hohen Seitenverhältnissen verwendet werden kann. Es ist in der Lage zu dotieren/undotieren Schichten bis 200 nm in der Dicke mit sehr hoher Präzision. Darüber hinaus ist es mit einer Vielzahl von alternativen Prozessquellen für Aluminium- und Kupferabscheidung, Anodisierung, Siebdruck, Spin-on-nichtleitende Dielektrika und Sputterätzen ausgestattet. Wenn es um Sicherheit geht, wurde OXFORD Plasmalab 133 Plus entwickelt, um strenge Sicherheitsstandards zu erfüllen. Es verfügt über Interlock-Net Sicherheitssysteme, die Druck, Temperatur und Sicherheitsparameter überwachen und einen kontinuierlichen und sicheren Betrieb gewährleisten. Darüber hinaus verfügt es über eine Low-End-Abgasmanagementmaschine, die die Auswirkungen von Gefahrstoffen reduziert und die Einhaltung der Umweltvorschriften gewährleistet. In puncto Produktivität bietet Plasmalab 133 Plus einen hohen Durchsatz von bis zu 700 Wafern pro Stunde. Es ist auch mit fortschrittlichen Prozesssteuerungsfunktionen wie automatisierten Prozessparametern, Prozessrezeptprogrammierung und Überwachung von Wafer-Level-Bedingungen ausgestattet. Darüber hinaus verfügt es über eine Grafik-Benutzeroberfläche, mit der Benutzer eine breite Palette von Prozessmetriken anzeigen können. OXFORD Plasmalab 133 Plus ist ein fortschrittliches und hochansprechendes Ätz- und Aschewerkzeug für die Halbleiterindustrie. Es ist mit einer beeindruckenden Reihe von Funktionen und Werkzeugen entworfen, die es Anwendern ermöglicht, sehr präzise Ergebnisse mit minimalem Aufwand zu erzielen.