Gebraucht OXFORD Plasmalab 133 #293824951 zu verkaufen
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ID: 293824951
Weinlese: 2013
Reactive Ion Etcher (RIE)
Gas holder
Control system
Chiller
Wafer sizes: 2″/3″/4″/5″/6″/8″/12″
Plasma source: 13.56 RF 0-600W
Process gases: 7-channel MFC gas
Gas lines:
Cl2 - 100 sccm
BCl3 - 100 sccm
CH4 - 50 sccm
Ar - 100sccm
NH3 - 100 sccm
CHF 3 - 200sccm
N₂O - 200 sccm
2013 vintage.
OXFORD Plasmalab 133 ist eine fortschrittliche Ätz- und Aschemaschine, die eine überlegene Oberflächenvorbereitung und Verarbeitung elektronischer Komponenten ermöglicht. Das System verfügt über ein leistungsstarkes, zweifrequentes HF-Netzteil, das in der Lage ist, eine Reihe von unteratmosphärischer Druckverarbeitung bereitzustellen. Dies ermöglicht die Schaffung einer hochreaktiven Umgebung, die sich ideal zum atomaren Mischen, Strukturieren und Ätzen von Oberflächen eignet. Plasmalab 133 umfasst eine Reihe fortschrittlicher Funktionen, einschließlich eines integrierten Gaskrümmers, einer Gasflusssteuerung und einer einstellbaren Drucküberwachung. Das Gerät umfasst außerdem einen hochpräzisen Quarzkristallmonitor sowie eine Reihe leistungsstarker Diagnosewerkzeuge. Der hochpräzise Quarzkristallmonitor sorgt für Genauigkeit und ermöglicht dem Anwender die Kalibrierung und Anpassung des Ätz- und Ascheprozesses für optimale Leistung. Der Ätzvorgang wird an der Unterseite eines Werkstücks in einer Vakuumkammer durchgeführt. Der Boden der Kammer wird mit einem Heizelement auf die gewünschte Temperatur erwärmt und die kontrollierte Umgebung ermöglicht einen präzisen Ätzvorgang. Der Mechanismus zur Steuerung des Prozesses basiert auf einer Kombination aus Gleichstrom, Wechselstrom und gepulster Leistung sowie verschiedenen anderen Parametern wie Spannung, Strom und Druck. Durch die Schaffung einer hochreaktiven Umgebung in der Kammer ist OXFORD Plasmalab 133 in der Lage, hervorragende Ergebnisse bei minimaler Kontamination zu erzielen. Der Ätzprozess wird von einer computergesteuerten Maschine überwacht und gesteuert, um Genauigkeit und Präzision zu gewährleisten. Der integrierte Gaskrümmer ermöglicht es dem Anwender, je nach Anwendung das passende Gasgemisch auszuwählen. Plasmalab 133 enthält eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen zum Schutz des Benutzers, wie eine aktive Barriere Schild, HF und Druckschutz, und Schutzverschleiß. Das Werkzeug ist auch mit einer Notentlüftungsanlage ausgestattet, um den Benutzer vor möglichen Kontaminationen zu schützen. Das Modell verfügt über eine einfache Benutzeroberfläche für einfache Bedienung, bietet intuitive Bedienelemente und eine Reihe von grafischen Anzeigen für einfache Anzeige. Abschließend ist OXFORD Plasmalab 133 eine fortschrittliche Ätz- und Ascheausrüstung, die eine überlegene Oberflächenvorbereitung und Verarbeitung elektronischer Komponenten ermöglicht. Das System ist mit leistungsstarker, zweifrequenter HF-Stromversorgung, einem integrierten Gaskrümmer, einem hochpräzisen Quarzkristallmonitor und einer Reihe von Sicherheitsfunktionen für einen verbesserten Schutz ausgestattet. Die einfache Benutzeroberfläche und die intuitive Bedienung, kombiniert mit den fortschrittlichen Funktionen und der Leistung, machen Plasmalab 133 zu einer idealen Wahl für jede Anwendung.
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