Gebraucht OXFORD Plasmalab 133 #293824959 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 133
ID: 293824959
Reactive Ion Etcher (RIE).
OXFORD Plasmalab 133 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine zur präzisen Kontrolle und Manipulation von Materialien auf nanoskaliger Ebene. Mit diesem System entstehen hochpräzise Bauteile mit hohen Spezifikationen, insbesondere für Mikroelektronik und Nanotechnologie. Plasmalab 133 ist mit einer ECR (electron cyclotron resonance) -Quelle ausgestattet, die verwendet wird, um eine Plasmaumgebung für die Ätz- und Ascheprozesse zu schaffen. Die Einheit enthält einen Hochfrequenzgenerator, eine Source-Plasmakammer und eine Düsenanordnung zum Fokussieren des Plasmas. Die ECR-Quelle hat einen Frequenzbereich von bis zu 500 MHz und kann über einen weiten Bereich von Betriebsfrequenzen eine maximale Leistung von 4 kW erzeugen. Diese Quelle verfügt auch über eine einstellbare Ionisationsenergie, die eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen ermöglicht. Die Quellkammer von OXFORD Plasmalab 133 ist aus Edelstahl gefertigt und ermöglicht den Einsatz von bis zu 8 Probenhaltern beim Ätzen und Aschen. Es enthält auch eine vakuumautomatisierte Drucksteuerungsmaschine, die es dem Benutzer ermöglicht, den Druck der Plasmaumgebung genau zu regulieren. Die Kammer verfügt auch über Vorkehrungen, um eine schnelle Installation oder Entfernung von Prozessgasen zu ermöglichen und den Hintergrunddruck aufrechtzuerhalten. Plasmalab 133 verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Funktionen, die eine präzise Manipulation von Materialien auf nanoskaliger Ebene ermöglichen, einschließlich hochauflösendem Scannen und Positionieren von Material, und einem hohen Bereich von Ätz- und Ascheparametern. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug auch über Sicherheitsmerkmale wie Temperaturüberwachung, Notstop und ein Gasversorgungsabsperrventil. OXFORD Plasmalab 133 ist ein hochentwickeltes Ätz-/Aschegut, das für die Herstellung präziser Komponenten geeignet ist. Sein leistungsstarkes und vielseitiges Design macht es ideal für eine Reihe von nanoskaligen Manipulationen, und seine Sicherheitsmerkmale gewährleisten, dass der Prozess mit höchster Präzision und Sorgfalt durchgeführt wird.
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