Gebraucht OXFORD Plasmalab 133 #9090813 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 133 Ätzer ist eine spezielle Plasmaätz- und Aschemaschine für den Einsatz in einer Vielzahl von Forschungs- und Produktionsanwendungen. Das System nutzt mehrere Kammern und Technologien, um eine Vielzahl von Ätz- und Oberflächenvorbereitungsprozessen zu ermöglichen. Als vielseitige, vielseitige Ätzeinheit kann Plasmalab 133 für eine Vielzahl von Substrattypen eingesetzt werden, darunter Silizium, III-V und Metalle. Die Maschine ist auf einem luftgekühlten Kammerdesign aufgebaut, das über einen integrierten HF-Generator verfügt, der sowohl RF-Sputtern als auch Ionenätzen unterstützt. Ein hochleistungsfähiger, direkter HF-Generator bietet bis zu 1 kW Leistung für Sputteranwendungen und bis zu 500 W Leistung für Ionenätzanwendungen. Ein Dualfrequenz-HF-Generator unterstützt auch Dual-Frequenz-Plasmabetrieb, so dass der Benutzer zwischen Hochfrequenz- und Niederfrequenzquellen für optimierte Ätzergebnisse mit einem einzigen Werkzeug wechseln kann. OXFORD Plasmalab 133 verfügt über eine ausgeklügelte Prozesssteuerungstechnologie, einschließlich eines Echtzeit-Druckmessgeräts, das in die Vakuumkammer integriert ist und eine präzise Druckregelung während der Plasmabearbeitung ermöglicht. Ferner ist ein Inertgasventil und Durchflussmesser vorgesehen, die eine präzise Steuerung der Prozessgaszusammensetzung und des Drucks ermöglichen. Die bordeigene Gassteuerung ermöglicht die Verwendung unterschiedlichster Prozessgase wie Sauerstoff, Stickstoff und Argon während des Ätzprozesses. Das Modell enthält auch einen integrierten motorisierten Probenhalter, der ein einfaches Be- und Entladen von Proben ermöglicht. Der Halter ist mit einer manuellen Z-Achse ausgestattet, so dass die Probe zur Feineinstellung der Ätzparameter auf und ab bewegt werden kann. Schließlich kommt Plasmalab 133 mit einem integrierten Controller, der eine präzise Steuerung der Prozessparameter ermöglicht, um wiederholbare und zuverlässige Ätzergebnisse zu gewährleisten. Zusammengefasst handelt es sich bei dem OXFORD Plasmalab 133 Ätzer um eine vielseitige Mehrzweckausrüstung für zuverlässige Ätz- und Oberflächenvorbereitungsanwendungen. Mit einer Vielzahl von Kammern und Prozesskontrolltechnologien kann das System verwendet werden, um eine breite Palette von Materialien zu ätzen, einschließlich Silizium, III-V und Metalle. Die integrierte Bordgassteuereinheit, der Echtzeit-Druckmesser, der Dual-Frequency-HF-Generator und der motorisierte Probenhalter bieten eine präzise Steuerung für Ätzergebnisse, die eine wiederholbare Ätzprozessoptimierung ermöglicht.