Gebraucht OXFORD Plasmalab 133 #9090816 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 133 ist eine Hochleistungs-Ätz- und Aschermaschine, die komplizierte Muster auf Materialien herstellen kann, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. Entwickelt für chemische Ätz- und chemisch unterstützte Ionenätzanwendungen (CAI), ist es in der Lage, eine breite Palette von Parametern zu handhaben. Seine robuste und benutzerfreundliche Computersteuerung ermöglicht mehrstufige Ätz- und Ascheprozesse mit sehr enger Kontrolle und Wiederholbarkeit. Plasmalab 133 kombiniert Drucksteuerungen und andere fortschrittliche Ätztechnologien in einem einzigen modularen Paket. Der eingebaute Hochleistungs-HF-Generator, der sowohl zum Ätzen als auch zum Aschen geeignet ist, liefert eine optimale Prozessleistung bei unterschiedlichen Druckniveaus. OXFORD Plasmalab 133 kann alle gängigen Ätz- und Aschetechniken handhaben, einschließlich Standard-Nassetch, Trockenetch, plasmaverbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD), reaktiver Ionenetch (RIE) und Ionenstrahletch (IBE). Das System ist vollautomatisiert und kann Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm aufnehmen und eignet sich somit gut für Chargenverarbeitungsanwendungen. Plasmalab 133 ist ein ultrapräziser Ätzer und Ascher. Die Integration fortschrittlicher Prozesssteuerungs- und Sensortechnologien in Kombination mit seiner Fähigkeit, Ätzeigenschaften wie Temperatur, Druck und Leistung genau zu messen, bietet die Mittel zum automatisierten hochpräzisen Ätzen und Aschen. Es ist in der Lage, Vias, Gräben und andere komplizierte Funktionen zu schaffen, die eine enge Kontrolle erfordern. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine integrierte Videoanzeige, die es dem Bediener ermöglicht, Ätzprozesse von den Rändern der Vakuumkammer aus zu überwachen und bei Bedarf schnelle Anpassungen zu ermöglichen. Die mitgelieferte SOP-Software der Maschine bietet leistungsstarke Prozessentwicklung und Steuerungsflexibilität. Die Software ermöglicht die Einrichtung mehrerer Rezepte für verschiedene Ätzparameter und Gasströme. Darüber hinaus ist die Software internetfähig und ermöglicht eine flexible und Remote-Prozesssteuerung. OXFORD Plasmalab 133 ist ein fortschrittliches High-End-Ätz- und Aschewerkzeug, das sowohl für den manuellen als auch automatisierten Betrieb entwickelt wurde. Es ist eine komplette Ätz- und Aschelösung, die schnelle Prozesszeiten, hohe Genauigkeit und präzise Kontrolle der Ätzeigenschaften liefert.