Gebraucht OXFORD Plasmalab 133 #9151442 zu verkaufen
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ID: 9151442
Reactive Ion Etcher (RIE)
Ion Coupled Plasma Etcher
Chamber size: 380
VAT Gate valve with PM5 controller
ADVANCED ENERGY RFX600A & HFV 8000 RF Power supplies
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 1000M Turbo pump with NT20 Controller
Endpoint detector type: TB-XY-MA16
Match work and tuner
Manual load lock
Ceramic clamp
(8) Mass flow controllers
Power supply: 208 V, 60 Hz.
OXFORD Plasmalab 133 ist eine Ätz- und Aschermaschine von OXFORD Instruments. Es ist eine fortschrittliche, Niederdruckätzer und Ascher Kombinationsplattform. Dieses System ist für die Verarbeitung von Halbleiterbauelementen konzipiert, einschließlich Polymeren, Metallen, Dielektrika und Keramik. Dieses Gerät ist ein ideales Werkzeug für die Bearbeitung von dünnen Filmen, MEMS-Geräten, LEDs, HF-Modulen und anderen Hochleistungsgeräten. Plasmalab 133 enthält Funktionen und Werkzeuge, mit denen Benutzer das Ätzen, Ablegen oder Entfernen von Material präzise steuern können. Der Ätzer ermöglicht es Benutzern, saubere und gleichmäßige geätzte Schichten für hochpräzise elektronische Geräte zu erzeugen. Der Ascher sorgt für eine sehr feine und hochauflösende Sputterabscheidung von Dünnschichtmaterialien. OXFORD Plasmalab 133 verfügt über eine leistungsstarke hochauflösende Magnetron-Sputtertechnologie, die für die gleichmäßige Abscheidung von Folien mit überlegener charakteristischer Haftung sorgt. Diese Maschine ist auch mit einer anisotropen Ätzquelle und einer hochmodularen Prozesskammer ausgestattet, die das Ätzen und Bearbeiten mehrerer Materialien gleichzeitig ermöglicht. Es verfügt auch über fortschrittliche Automatisierung für eine vollständige Prozesssteuerung und eine benutzerfreundliche Oberfläche. Plasmalab 133 ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien zu verarbeiten, darunter Silizium, Aluminium, Galliumarsenid, Kupfer und diamantähnlicher Kohlenstoff. Es ist auch auf die hohen Anforderungen der Halbleiterbauelementherstellung ausgelegt und kann für verschiedene Anwendungen wie Beschleunigung der Elektronenemission, bipolare Dünnschichtbildung, chemisch-mechanische Planarisierung und selektive Flächenmusterung eingesetzt werden. Dieses Tool bietet fortschrittliche Prozesssteuerungsalgorithmen, mit denen Benutzer Prozessparameter anpassen und das Asset überwachen können. Die Funktion Advanced Process Control (APC) überwacht und bewertet Ihre Prozessparameter ständig und passt die entsprechenden Einstellungen automatisch an, um optimale Prozessergebnisse zu erhalten. Darüber hinaus ist das Modell für den Betrieb unter rauen Umgebungsbedingungen konzipiert und mit einer integrierten Vakuum- und Gasversorgung erhältlich. Darüber hinaus ist es mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen und Brandschutzausrüstung ausgestattet, um Ihr Personal und Ihre Prozesse zu schützen. OXFORD Plasmalab 133 ist die perfekte Ätz- und Ascher-Kombinationsplattform für jeden Ingenieur, der die Präzision und Genauigkeit bei der Herstellung von Hochleistungselektronikgeräten maximieren möchte. Dieses System ist zuverlässig und effizient und bietet eine fortschrittliche Plattform zum Ätzen und Ablegen verschiedener Materialien mit absoluter Genauigkeit.
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